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表面電荷測量系統的試驗原理

來源:北京華測試驗儀器有限公司   2024年10月28日 15:44  

表面電荷測量系統的試驗原理

為了研究固-氣界面電荷的消散現象,首先須在試樣表面施加一定的初始電荷。本系統采用經典的電暈充電電路對試樣進行預充電,電極結構如下圖, 針電極施加 正極或負極性高壓直流電壓,板電極接地,針電極針尖距離試樣表面10mm(可通過軟件調整距離),可軟通過件設置一定的充電試驗。采用靜電電何探頭對材料的 表面電荷進行測量。為了對試樣表面進行掃描,通過步進電極搭建了針對二維平面的掃描平臺,如圖下所示。該 平臺將2個線性模組垂直安放,帶動試樣臺進行二 維平移運動,電荷探頭被垂直固定在試樣臺的正上 方,與試樣表面的距離保持為一定的測量距離(通過軟件控制步進電機移動)。探頭以圓周軌跡對樣品有效區域的掃描,實驗中,靜電探頭和電荷放大器相連,電荷放大器的輸出的模擬信號,通過12bit高分辨率 示波器采集,并傳輸到上位機進行運算處理。

圖片1.png



極結構

 

 

圖片2.png

試驗腔體及電機部分


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