德國Kleindiek公司的MM3E 以經典的,廣泛使用的 MM3A-EM 微納米操縱儀韋基礎,具有與 MM3A 相同的緊湊性、精確性和穩定性,并結合了閉環位置反饋功能(closed-loop positional feedback)。這一改進為提高系統的易用性提供了手段(例如,通過定義停止位置parking position和工作位置working position,一鍵點擊,使機械手前端的探針到達目標位置,大大提高了工作效率)。
MM3E 與市場上幾乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 兼容。它配備了一個直觀的拖放式(drag&drop-style)控制軟件,可方便地在 SEM 或 FIB/SEM 內對探針進行三維定位。
軟件可執行坐標變換,使 MM3E 以笛卡爾坐標系運動,其重現性僅為幾微米。通過選配編碼的軸向旋轉單元,試樣可以在靠近試樣的位置進行同心旋轉(compucentrically)。
應用領域:
TEM 原位提取(In-situ lift-out)
納米探測(Electrical probing)
納米操縱(Nanomanipulation)
Compucentric rotation within a field of view of 30 µm
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