1. 帶攝像頭和液晶顯示屏的檢查顯微鏡（1 臺）

光學系統：無限 校正（200 毫米管狀鏡頭）

觀察方法：明 視場

照明 ： 反射（同軸和成角度）

照明系統：高亮度 白色 LED

鼻托：旋轉式 ，四重，帶正向精確單擊停止裝置

觀察頭：Siedentopf 三目觀察頭，30 度傾斜，48-75 毫米 IP 調節器

目鏡：寬 視場目鏡，10 倍，FN = 20 毫米，光圈可調

調焦：手動

                                                                                                     2. 物鏡

1. Plano apo 5 倍鏡，NA = 0.18，WD = 40 毫米（目鏡視場角 = 4 毫米，CCD 視場角 = 1.31 x 0.984 毫米） 2.

2. Plano apo 10X，NA = 0.4，WD = 19 毫米（目鏡視場角 = 2 毫米，FOVCCD = 0.655 x 0.492 毫米） 3.

3. Plano apo 20X，NA = 0.35，WD = 17 mm（目鏡視場角 = 1mm，FOVCCD = 0.327 x 0.246 mm） 4.

4. Plano apo 40X，NA = 0.65，WD = 7 毫米（目鏡視場角 = 0.5 毫米，FOVCCD = 0.164 x 0.123 毫米） 3.

                                                                              3. 液晶顯示屏規格（視窗平板電腦）

顯示屏：10 英寸 高清、全電容式多點觸摸

中央處理器：英特爾 Atom 四核處理器，主頻高達 1.83 GHz

內存：1 GB DDR3 RAM

存儲：16GB 內置存儲，支持高達 64GB 的 Micro SD

操作系統 ： 微軟視窗 8.1

連接功能：Wi-Fi 802.11、迷你 HDMI 端口、微型 USB 端口、藍牙 4.0、USB OTG 功能

LCD 直接固定在顯微鏡上

                                                                                                4. 相機規格

傳感器尺寸：1/2 .5 英寸彩色 CMOS

有源成像器尺寸：6 .55 毫米（高）X 4.92 毫米（寬）

最大分辨率：2048 x 1536（3 百萬像素）

每秒拍攝速度：10 FPS（全分辨率

像素尺寸：3 .2 x 3.2 um

掃描類型 ： 逐行掃描

快門類型 電子滾動快門

曝光時間：0 .047 毫秒 - 3000 毫秒

數據格式：8 位 RAW、24 位 BMP

靈敏度 ： > 1.0 V / Lux - sec (550 nm)

光譜范圍：380 - 650 納米

信噪比：43 dB

寬動態范圍：61 dB

清晰度 ： > 850 線

曝光模式 ： 自動/手動/區域

白平衡：手動 / 一次性 / 區域 / 自動

圖像格式 ： raw / bmp / jpg / png

                                                                 5. 帶樣品基片加熱器和控制器的 XYZ Theta 平臺（1 臺）

XYZ 行程 25 毫米

千分尺分辨率 10 μm

結構 鋁合金 B51S

旋轉范圍 360 度連續旋轉

定位精度 0.1 度

XYZ theta 平臺上的加熱器（尺寸為 1 英寸直徑或 1 英寸 x 1 英寸）可將樣品基底加熱至約 150 - 200o C

                                                                               6. 帶微型機械手的樣品支架（1 個）

軸 4（XYZ 和傾斜）

X 行程 25 毫米

Y 行程 25 毫米

Z 行程 10 毫米

傾斜 +/- 3 度

樣品夾持機構