1. 帶后置安裝系統的探針臺數碼顯微鏡

無限校正光學系統

觀察方法 明視野（數字）

反射照明（同軸和成角度 - 2 個）

照明系統 高亮度白光 LED

強度可調

四軸，帶精確的單擊停止裝置 手動，齒輪齒條式調焦

顯微鏡物鏡 1. 長工作距離 Plan Apo 5X NA = 0.14，工作距離 = 40 毫米，視場 = 1.14 毫米 x 0.856 毫米

2. 長工作距離 Plan Apo 10X NA = 0.3，工作距離 = 31 毫米 視場 = 0.57 毫米 x 0.428 毫米

傳感器上的有效放大倍率為 10 X（使用 10 X 物鏡） 14 英寸筆記本電腦/個人電腦顯示屏上的有效放大倍率為 498 X（使用 10 X 物鏡） 3.

498 X（使用 10 X 物鏡）（取決于個人電腦/筆記本電腦顯示屏的大小） 2.

2. 測量夾具

材料：黃銅

真空吸樣裝置

測量夾具將放置在特氟龍底板上

聚四氟乙烯擋塊、HV 連接器

3. 帶數字顯示的溫度傳感器 PT100 型

傳感器量程：0oC 至 100oC

傳感器分辨率：0 .5oC

4. 數字顯示濕度傳感器

分辨率：1

傳感器范圍：5% - 95

5. 帶水平腳的底板

材料：磁性 SS，M6 錐孔

6. 氣密室外殼（提供干燥空氣輸入）

提供帶鉸鏈的鋁制外殼

表面處理：黑色 陽極氧化處理

7. 針頭

鎢針，2.4u，25 盒裝

(外形尺寸，型號 PTT-24-25)

8. 相機規格

光學格式：1/2 .5 英寸 CMOS

有源成像器尺寸：5 .70 毫米 x 4.28 毫米、7.13 毫米

對角線有效像素：2592 x 1944 (5Mp)

像素尺寸：2 .2 x 2.2 um

彩色濾光片陣列：RGB Bayer 模式

快門類型 ： 電子滾動快門 (ERS)

幀頻 ： 全分辨率 - 高達 8 幀/秒，VGA - 高達 70 幀/秒

ADC 分辨率：12 位，片上像素動態范圍 = 70.1 dB

工作溫度：-30oC 至+70oC

功耗： 全分辨率 15 fps 時為 381 mW

軟件 ： 圖像抓取軟件

9. 手動微機械手（4 個）

軸：4 （XYZ 和傾斜）

X 行程：25 毫米

Y 軸行程：25 毫米

Z 行程：10 毫米

傾斜：+/-3 度

磁性底座

帶 BNC 接頭的探頭連接器

探頭連接器支架（Delrin）

用于 HV - IV 測試

10. 探針針尖 7 MIC

鎢：25 個探針頭（25 個一包）

(外形尺寸，型號 155-202）

材料：鎢

針尖半徑：7 微米

針尖角度：6 度

長度： 32 毫米

軸直徑： 0 .5 毫米