規格

高頻微型機械手 - 左/右 = 2 個

100 TPI XYZ 驅動器

真正的線性運動，精細 XYZ 控制

精細控制裝置位于機械手后部，易于操作

移動范圍（X/Y/Z）= 0.5“ x 0.5” x 0.5”

適用于 > 1 微米的幾何形狀

XYZ 平臺的精度 = 10 微米

磁性底座

直式配置，適合左右放置機械手

支持不同的射頻測座（GSG、GS、SG）

平面度（滾動）調整范圍 = +/- 5 度

平面度（滾動）調整分辨率 = 每旋轉一度 0.005 度

Theta（偏航）調整范圍 = +/- 5 度

Theta（偏航）調整分辨率 = 每旋轉一度 0.005 度

微波頭適配器（客戶必須提供微波探頭的詳細信息。微波探頭不在供貨范圍內）

                                                                                                        選配

 1. LWD Plan Apo 50 倍顯微鏡物鏡

 NA = 0.50

 工作距離 = 17 毫米

 目鏡視場角 = 0.4 毫米

 相機視場角 = 0.114 毫米 x 0.0856 毫米

 分辨率 = 0.6 微米

 2. LWD Plan Apo 20 倍顯微鏡物鏡

 NA = 0.35

 工作距離 = 29 毫米

 目鏡視場角 = 1 毫米

 相機視場角 = 0.285 毫米 x 0.214 毫米

 分辨率 = 1 微米

帶熱敏真空吸盤的 XYZ 樣品平臺

樣品臺頂板 = 50 mm x 50 mm

X 軸行程 = 25 毫米

YZ 軸行程 = 10 mm

XYZ 軸驅動 = 100 TPI 引線螺桿

通過壓盤升降實現 25.4 mm Z 軸范圍

溫度范圍 = RT - 250oC

冷卻 - 熱電冷卻與水冷冷卻器結合使用

冷卻溫度低于環境溫度約 -10oC 或更接近環境溫度

溫度增量步進 = 1 度

電纜和探頭應隔熱

真空泵

溫度和真空泵需要手動和軟件控制

探針站 雙目顯微鏡

探針站 雙目顯微鏡及其支架 = 1 套

光學系統 = 無限校正

觀察方法 = 明視野

照明 = 反射（同軸和成角）

照明系統 = 高亮度白色 LED，可通過軟件調節強度

鼻托 = 旋轉式，四重，帶精確的單擊停止裝置

觀察頭 = Siedentopf 三目觀察頭，30 度

IP 調整 = 48 - 75 毫米

目鏡 = 10 倍寬視場目鏡，FN = 20 毫米，度數可調

調焦 = 手動