HO-AMS-DE01 測量系統配備了雙成像系統，用于快速測量。成像系統 1 配備了用于大面積成像的低倍率鏡頭，成像系統 2 則配備了用于高倍率成像的長工作距離顯微鏡物鏡。成像系統 1 只需 4 幅圖像即可捕捉到 200mm*100mm 的樣品區域。高精度 XY 電動平臺配有線性編碼器，并將使用 DRO 顯示編碼器的反饋信息。帶自動對焦算法的電動 Z 聚焦平臺用于樣品聚焦。除了雙攝像頭系統外，還配備了雙目觀察裝置，用于對樣品進行目視檢查。

                                                                                              規格

測量精度 (3 + 0.03L) µm。L 是測量長度，單位毫米

讀數分辨率 1 µm（帶 DRO 的線性編碼器）

觀察頭 Siedentopf 三目觀察頭，30 度傾斜，45-75 IP

觀察方法 明視野（雙成像系統）

目鏡 10 倍寬視野，FN 20，屈光度可調

照明 1. 垂直反射 LED 照明（外顯微鏡），強度可調 2.

2. 傾斜 LED 照明，強度可調

                                                                                           選配

1. LWD Plan Apo 10 倍顯微鏡物鏡

NA: 0 .30

工作距離：34 毫米

目鏡視場角：2 毫米

相機視場角：0 .655 毫米 x 0.492 毫米

2. LWD Plan Apo 20X 顯微鏡物鏡

NA: 0 .35

工作距離：29 毫米

目鏡視場角：1 毫米

照相機視場角：0 .327 毫米 x 0.214 毫米

3. LWD Plan Apo 50X 顯微鏡物鏡

NA: 0 .50

工作距離：17 毫米

目鏡視場角：0 .4 毫米

照相機視場角：0 .131 毫米 x 0.0984 毫米

成像系統 1

成像鏡頭： 16 毫米素鏡頭

工作距離：160 毫米

有效放大倍率：0 .082 X

攝像頭視場角：80 毫米 * 60 毫米

攝像頭： ? " CMOS 彩色 300 萬像素

成像系統 2

成像鏡頭： LWD Plan Apo 5 倍顯微鏡物鏡

工作距離：44 毫米

有效放大倍率 (@5X 物鏡) ： 目鏡 50 倍，相機 5 倍

目鏡視場角 ： 4 毫米

攝像頭視場角：1 .31 毫米 * 0.984 毫米

攝像頭： ? " CMOS 彩色 300 萬像素

樣品臺

電動 XY 高精度平臺

測量范圍：200 毫米 x 100 毫米

編碼器分辨率：1 微米

顯示：DRO

聚焦 帶自動對焦功能的電動 Z 平臺

軟件 ： 圖像分析儀 - 自動掃描、拼接、定位、測量等。

應用

1.    半導體

2.    電氣和電子部件

3.    精密汽車零部件

4.    塑料模具

5.    工具

6.    醫療器械