工具顯微鏡又稱工具制造用顯微鏡，是一種工具制造時所用高精度的二次元坐標測量儀。它是利用光學原理將工件成像經物鏡投射至目鏡，即借著光線將工件放大成虛像，再利用裝物臺與目鏡網線 （eyepiece reticle） 等輔助，以作為尺寸、角度和形狀等測量工作，可作為檢驗非金屬光澤的工件表面。此種儀器在立柱上裝有一顯微鏡，放大倍率從10倍至100倍間等數種倍率，工具顯微鏡的測量系統光源 （ 燈炮 ） 通電后，光線依次經過二個透鏡濾熱鏡 （ 片 ）、鏡徑薄膜、透鏡、反射鏡、裝物臺、物鏡、反射鏡、目鏡等，工件與物鏡間的距離，隨著放大倍率和工件厚薄，可利用對焦旋鈕調至理想位置。
1、  將人眼瞄準，采集元素的個別點坐標，改為CCD攝像機自動采集元素圖像，采集信息量增大，減少人工干預，操作效率提高。
2、  軟件數據處理結果除以數據表示外,增加了圖形信息窗，處理的點、線、圖、弧等元素展現在屏幕上，形象直觀，條理清晰，避免出錯，并且可以輸出到AUTOCAD形成工程圖。
3、  引進*的英國RENISHAW鋼帶反射光柵系統代替原有的玻璃光柵系統，該系統信號優良，安裝間隙大，外形小巧，發熱量小，安裝調試簡單，抗污染，抗腐蝕能力強，耐震性好等眾多優點，大大提高了系統的可靠性，是當今的光柵系統之一。
4、  除X、Y坐標數字顯示外，將測高坐標和分度頭角度坐標也改成數顯，實現了四坐標全數顯化，這一改進對凸輪軸測量十分有益。
5、  用半導體激光器作為指向器，紅色光點打在工件表面，用于快速確定測量部位，避免了因CCD視場面積小帶來的找象困難，解決了目前圖像系統的通病。
6、  以CCD圖像采集為主，但仍保留目鏡光學系統作為輔助觀察口，使用更加方便。
7、  將顯微鏡及附件的照明由普通白熾燈改為高亮度發光二極管，提高了光源的壽命，降低了發熱。
8、  帶有承接儀器主機的儀器臺。