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掃描電鏡的工作原理及結構組成深度剖析

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2025年02月11日 10:36  
  掃描電鏡(ScanningElectronMicroscope,SEM)是一種高分辨率的電子顯微鏡,廣泛應用于材料科學、生物學、地質學等多個領域。其工作原理基于電子與物質間的相互作用,通過發射電子束并使其在樣品表面掃描,從而激發樣品產生各種物理信號,這些信號再被收集、放大并轉換成圖像。
  在工作時,掃描電鏡的電子槍發射出電子束,這些電子在加速電壓的作用下,經過電磁透鏡聚焦成細小的束斑。隨后,電子束在掃描線圈的作用下,按一定規律在樣品表面進行掃描。當電子束照射到樣品表面時,會與樣品中的原子發生相互作用,激發出二次電子、背散射電子等信號。這些信號被相應的探測器接收,并經過放大處理后,最終轉換成圖像顯示在屏幕上。
  結構組成方面,掃描電鏡主要由電子光學系統、掃描系統、信號收集系統、圖像顯示和記錄系統、真空系統以及電源系統六大部分組成。其中,電子光學系統負責產生和聚焦電子束;掃描系統控制電子束在樣品表面的掃描;信號收集系統接收并放大樣品激發出的信號;圖像顯示和記錄系統將放大后的信號轉換成圖像并記錄下來;真空系統確保鏡筒和樣品室中的高真空環境,以避免電子束與氣體分子發生碰撞;電源系統為整個儀器提供所需的電力。
  綜上所述,掃描電鏡憑借其的工作原理和精細的結構組成,在微觀世界的探索中發揮著不可替代的作用。

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