無塵無氧烤箱是一種專為高潔凈度、低氧環境需求設計的工業設備,主要應用于需要避免氧化、污染或化學反應的精密制造和科研領域。
1. 技術原理與關鍵設計
無塵控制
通過多級高效空氣過濾系統(如HEPA過濾器)和正壓環境設計,阻止外部灰塵進入。內部循環風經多次過濾,確保潔凈度達到Class 100甚至更高(每立方英尺空氣中粒徑≥0.5μm的粒子≤100個)。
無氧控制
采用惰性氣體(如氮氣、氬氣)置換技術,通過氣體循環系統排出氧氣,使氧濃度降至1%以下甚至更低。部分設備支持動態調節氧含量,適應不同工藝需求。
溫度均勻性
通過熱風循環、導流板設計或真空環境實現精準控溫(±1℃以內),避免局部溫差導致產品缺陷。
2. 關鍵參數選型要點
潔凈度等級:根據需求選擇ISO Class 5-8(對應粒徑0.1-5μm的粒子控制)。
氧濃度范圍:從ppm級(如<10ppm)到百分比級(如<0.1%)。
溫度范圍:常溫至高溫(如RT+10℃~500℃)。
氣體接口:是否支持氮氣/氬氣快速接頭,氣體消耗量估算。
自動化功能:氧濃度實時監控、數據記錄、報警系統。
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