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菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDL230元素與鍍層測量
元素測量范圍：Cl（17）--U（92），最多可測量 24 種元素 23 層鍍層。
手動 X/Y 平臺：移動范圍≥95x150mm，可用工作臺面≥420x450mm。
電動 Z 軸：支持手動 / 自動聚焦，可移動范圍≥140mm。
DCM 測量距離補償法：可遠距離對焦測量腔體樣品，可達 80mm 深度。
可變高壓：滿足 30KV、40KV、50KV 三種可調節，以適應不同測試需求。
準直器：配備 φ0.3 的圓形準直器。
測量誤差：當鍍層厚度≥0.5um 時，頂層鍍層測量精度≤5%。
基本參數法：內置 12 純元素頻譜庫，可實現無標準片校準情況下測量。
MQ 值顯示：用于判定測量程式是否與樣品匹配，避免誤操作。
標準片：配備 12 種基準純元素（Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr）。
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