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手持式塵埃粒子計(jì)數(shù)器:掌上精密實(shí)驗(yàn)室,重新定義潔凈度檢測新標(biāo)準(zhǔn)

來源:山東藍(lán)景電子科技有限公司   2025年05月16日 13:58  
在半導(dǎo)體晶圓的納米級工藝?yán)铮谥扑庈囬g的無菌環(huán)境中,空氣中的細(xì)微顆粒都是不容小覷的 “質(zhì)量威脅”。手持式塵埃粒子計(jì)數(shù)器以革新性的光散射技術(shù)與智能交互設(shè)計(jì),化身為可握在掌心的 “精密實(shí)驗(yàn)室”,為全球高-端制造與生命科學(xué)領(lǐng)域提供微米級精準(zhǔn)檢測、全流程合規(guī)管理、全天候移動(dòng)監(jiān)測的一體化解決方案。

一、核心科技:捕捉微米級顆粒的 “光學(xué)慧眼”

儀器搭載半導(dǎo)體激光散射檢測系統(tǒng),如同微觀世界的 “偵察兵”,實(shí)現(xiàn)對 0.3μm-10μm 粒徑顆粒的精準(zhǔn)圍剿:

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  • 激光光源系統(tǒng):采用長壽命半導(dǎo)體激光器(壽命>35,000 小時(shí)),發(fā)射穩(wěn)定 650nm 單色光,經(jīng)準(zhǔn)直透鏡形成直徑 1mm 的檢測光束,即使 0.3μm 的超微粒子通過時(shí),也能產(chǎn)生可識(shí)別的散射光脈沖;

  • 六維粒徑通道:同步監(jiān)測 0.3μm(最難捕獲粒子)、0.5μm(潔凈室分級核心粒徑)、5.0μm(大顆粒污染警示)等六大粒徑,覆蓋 ISO 14644-1、GB/T 25915 等標(biāo)準(zhǔn)要求的全粒徑范圍;

  • 智能信號處理:通過 FPGA 芯片實(shí)現(xiàn)每秒 10,000 個(gè)粒子脈沖的并行處理,結(jié)合動(dòng)態(tài)閾值算法,自動(dòng)排除環(huán)境光、電磁干擾等偽信號,確保計(jì)數(shù)重復(fù)性誤差<10%。

二、便攜設(shè)計(jì):讓精密檢測突破空間限制

  • 輕量化機(jī)身:僅 1.8kg 的鎂合金機(jī)身,搭配可旋轉(zhuǎn)采樣探頭(0-180° 自由調(diào)節(jié)),輕松深入高架地板下方、設(shè)備機(jī)柜間隙等傳統(tǒng)儀器難以觸及的角落;

  • 長續(xù)航能力:內(nèi)置 10000mAh 鋰離子電池,支持連續(xù)檢測 8 小時(shí),配合 Type-C 快充接口(1 小時(shí)充滿 80%),滿足車間三班倒巡檢需求;

  • IP54 防護(hù)等級:防塵、防潑濺設(shè)計(jì),可在粉塵車間(如原料藥粉碎間)、潮濕環(huán)境(如空調(diào)冷凝水區(qū)域)穩(wěn)定工作,適應(yīng)復(fù)雜工業(yè)場景。

三、合規(guī)管理:從數(shù)據(jù)采集到審計(jì)的全鏈條閉環(huán)

  • 智能審計(jì)追蹤:自動(dòng)記錄操作人員賬號、檢測時(shí)間、參數(shù)修改(如粒徑通道切換、報(bào)警閾值調(diào)整)等 48 項(xiàng)操作日志,支持三級權(quán)限管理(管理員 / 工程師 / 操作員),符合 FDA 21 CFR Part 11、中國 GMP 等法規(guī)對 “數(shù)據(jù)可追溯性” 的嚴(yán)苛要求;

  • 動(dòng)態(tài)報(bào)告生成:檢測完成后自動(dòng)生成包含 95% UCL 統(tǒng)計(jì)值、溫濕度數(shù)據(jù)、潔凈度等級(ISO 1-9 級 / 國標(biāo)靜態(tài) / 動(dòng)態(tài))的完整報(bào)告,支持藍(lán)牙打印(10 秒出紙)、U 盤導(dǎo)出(CSV 格式)及 WiFi 上傳至企業(yè) MES 系統(tǒng);

  • 電子簽名功能:關(guān)鍵操作(如數(shù)據(jù)刪除、校準(zhǔn)記錄)需輸入密碼并關(guān)聯(lián)指紋認(rèn)證,確保檢測數(shù)據(jù)的法律有效性,可直接作為監(jiān)管部門飛行檢查的合規(guī)證據(jù)。


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四、行業(yè)應(yīng)用:多場景下的潔凈度管控專家

場景 1:制藥行業(yè) —— 從研發(fā)到生產(chǎn)的合規(guī)守護(hù)者
在某生物制藥企業(yè)的無菌灌裝車間,儀器通過實(shí)時(shí)監(jiān)測 0.5μm 粒子濃度(動(dòng)態(tài)≤3520 顆 /m3),結(jié)合審計(jì)追蹤功能記錄每班次操作人員的檢測時(shí)間與設(shè)備清潔記錄,成功通過 NMPA 現(xiàn)場核查,為創(chuàng)新藥上市申請?zhí)峁┝岁P(guān)鍵環(huán)境數(shù)據(jù)支撐。
場景 2:半導(dǎo)體制造 —— 良率提升的微觀把控者
某晶圓廠使用儀器對光刻機(jī)區(qū)域進(jìn)行定點(diǎn)監(jiān)測,通過 0.3μm 粒徑通道(檢測精度 ±25%)發(fā)現(xiàn)凌晨時(shí)段粒子濃度異常升高,追溯審計(jì)日志后確認(rèn)與空調(diào)系統(tǒng)凌晨自動(dòng)切換濾網(wǎng)有關(guān),及時(shí)調(diào)整維護(hù)周期,使芯片缺陷率從 0.05% 降至 0.02%,年收益提升超千萬元。
場景 3:醫(yī)院感控 —— 手術(shù)室潔凈度的隱形衛(wèi)士
在某三甲醫(yī)院的器-官-移-植手術(shù)室驗(yàn)收中,儀器同步完成粒子濃度檢測(0.5μm≤100 顆 /m3)與溫濕度監(jiān)測(22℃/50% RH),10 分鐘內(nèi)生成符合 GB 50333 標(biāo)準(zhǔn)的檢測報(bào)告,為醫(yī)院感染管理科提供了手術(shù)環(huán)境安全的量化證據(jù)。

五、品質(zhì)承諾:全生命周期的專業(yè)守護(hù)

  • 溯源校準(zhǔn)服務(wù):每年提供 JJF1190-2008 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn),配備可追溯至 NIST 的標(biāo)準(zhǔn)粒子驗(yàn)證報(bào)告,確保粒徑檢測誤差≤±30%;

  • 智能預(yù)警系統(tǒng):內(nèi)置激光光源壽命監(jiān)測、流量異常報(bào)警(±5% 偏差觸發(fā))等功能,提前 30 天預(yù)警設(shè)備維護(hù)需求,降低停機(jī)風(fēng)險(xiǎn);

  • 定制化解決方案:為特殊場景(如高氯環(huán)境、油霧車間)提供耐腐蝕采樣探頭、稀釋器等配件,確保檢測結(jié)果不受干擾。


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