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EDS掃描電鏡的穩定性受電子源壽命、光路系統設計及環境適應性等多方面因素影響，以下是具體分析：
電子源(如燈絲)是影響EDS掃描電鏡穩定性的關鍵部件。以鎢燈絲為例，其使用壽命較短(約80~100小時)，需要頻繁更換，這可能導致光路系統受污染，進而影響設備分辨率和穩定性。而采用CeB6燈絲的設備，如飛納臺式掃描電鏡，其燈絲使用壽命可達2958小時，顯著減少了更換頻率和污染風險，從而保證了設備的長期穩定性。
光路系統的設計和維護也對設備穩定性有重要影響。電子槍柵極到陽極區間是受陰極蒸氣污染較為嚴重的區域，需要定時清理以維持電鏡的良好狀態。如果清理操作不當或環境灰塵較多，可能導致光路系統的二次污染，進而影響設備性能。而一些設備通過一體化設計，如飛納電鏡的燈絲到達壽命后更換整個電子槍(包含全新的韋氏帽和陽極)，實現了光學系統免維護，進一步提高了設備的穩定性。
此外，設備的工業設計和環境適應性也是影響穩定性的重要因素。優秀的工業設計可以減緩分辨率隨使用時間的衰減，而適應不同環境條件的能力則確保了設備在各種應用場景下的穩定性。
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