近日，Quantum Design中國正式引進國際前沿熱分析設備InFocus κ FDTR頻域熱反射顯微鏡，tianbule國內亞微米級熱導率測量技術長期存在的部分空白，為半導體、新能源、復合材料等領域的研發與質量控制提供全新解決方案。

圖1 InFocus κ FDTR頻域熱反射顯微鏡

技術優勢：亞微米級熱導率測量的“顯微鏡”

InFocus κ FDTR由科學儀器領域的著名企業ScienceEdge研發，基于創新性頻域熱反射技術（FDTR），通過非接觸式激光掃描實現材料熱學性質的高分辨率檢測，以四大核心優勢成為技術破局者：

微尺度熱導率精確測量：無論是薄膜、微粒（如18 μm單晶氧化鋁顆粒）還是各向異性材料（如La?Ca?Cu?O??單晶），它都能準確測量材料的熱導率。

熱邊界傳導量化：精準測定深層界面熱傳導性能，例如比較物理氣相沉積（PVD）與濺射法制備的金薄膜界面傳導差異（TBC分別為138.0 MW/m2·K與306.5 MW/m2·K）。

三維熱擴散建模：通過激光掃描與光束偏移技術，同步分析面內與面外熱導率，揭示材料各向異性特性。

高效數據采集：單次相位曲線測量僅需10分鐘，支持從低頻到高頻（10 kHz–100 kHz）的寬頻段掃描。

精準光斑控制：ScienceEdge使用teyou的激光掃描光學系統，只需在軟件的顯微鏡圖像上任意點擊，就可以立即改變探測光束的位置。照射到樣品表面的入射光保持垂直，無需擔心斑點形狀失真。

應用場景：破解產業技術瓶頸

InFocus κ FDTR的引入將直接服務于國內多個前沿領域：

半導體行業：芯片熱失效分析、封裝材料界面熱阻評估。

新能源領域：鋰電池隔膜、固態電解質熱穩定性檢測。

復合材料研發：散熱填料性能優化、纖維增強材料導熱路徑設計。

應用案例

薄膜材料分析：對四種不同Sn含量的非晶GeSn薄膜（厚度約100 nm）的測試表明，熱導率隨錫含量增加而下降（0.44–0.55 W/m·K）。

圖2 不同Sn含量的非晶GeSn薄膜熱導率測量結果

界面熱導（Thermal boundary conductance）測量：PVD方法制備的換能器TBC值為138.0 MW/m2·K，而濺射法制備的換能器TBC值提升至306.5 MW/m2·K，約為前者的兩倍。

圖3 不同方法制備的換能器（Transducer）界面熱導率的差別

顆粒測量：下圖展示了一個評估粒徑為18 μm的單晶氧化鋁顆粒熱導率的案例研究。由于這些顆粒具有粗糙的多面體結構，因此需要仔細挑選具有平坦表面的顆粒，并將激光聚焦于平坦表面中心以獲得鏡面反射信號。擬合結果表明，該顆粒的熱導率與塊狀氧化鋁相當。

圖4 單晶氧化鋁顆粒的熱導率測量結果

InFocus K FDTR將推動材料科學、半導體封裝及熱管理技術的革新。其微米級分辨率和快速分析能力，為研發與質量控制提供了突破性的工具。