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電感耦合等離子體發射光譜儀是以射頻發生器提供的高頻能量加到感應耦合線圈上，并將等離子炬管置于該線圈中心，因而在炬管中產生高頻電磁場，用微電火花引燃，使通入炬管中的氬氣電離，產生電子和離子而導電，導電的氣體受高頻電磁場作用，形成與耦合線圈同心的渦流區，強大的電流產生的高熱，從而形成火炬形狀的并可以自持的等離子體，由于高頻電流的趨膚效應及內管載氣的作用，使等離子體呈環狀結構。
電感耦合等離子體光譜儀是建立在調制原理上的儀器，經典光譜儀器都是狹縫光譜儀器，對工作條件有一定的要求，下面作下簡單的介紹：
電感耦合等離子體光譜儀工作的基本條件：
1.rf系統能夠輸出持續、穩定、合適的能量到工作線圈。
2.炬管安裝良好且通有純凈、流量適宜的氬氣。
3.點火裝置向氣體中釋放適當的電荷。
4.如果其中某個條件沒有滿足則儀器不能正常點火。
另外，電感耦合等離子體光譜儀的功率放大部分的核心部件為功率它是一個大功率的真空電子管，內部有一細長的燈絲，當燈
絲通電而RF系統未工作時，電流就會讓燈絲發熱并發射熱電子。
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