觸屏激光塵埃粒子計數器是一種基于光散射技術的精密儀器,廣泛應用于潔凈度檢測和空氣質量控制領域。
一、觸屏激光塵埃粒子計數器科學原理
1. 核心工作機制——Mie散射理論
當激光束照射到空氣中懸浮的顆粒物時,會發生光散射現象(遵循Mie理論)。不同粒徑的粒子會產生特定強度的光信號:
小顆粒(<1μm):以瑞利散射為主,散射光強隨粒徑增大而增強;
大顆粒(>1μm):符合幾何光學規律,散射光強趨于穩定。
通過測量散射光的強度分布,可反推出粒子的大小和數量濃度。
2.校準與補償算法
內置ISO 21501-4標準參考物質進行定期自校準,修正溫度漂移導致的誤差;
應用Shephard修正因子消除重疊通道間的干擾,提升多分散體系的測量精度。
二、觸屏激光塵埃粒子計數器實際應用場景
1.半導體制造行業
工藝環境監控:在晶圓清洗、光刻等工序段持續監測Class 1~10級無塵室中的≥0.1μm微粒污染水平;
設備性能驗證:評估FFU風機過濾單元的效率衰減情況,指導濾芯更換周期優化;
故障診斷支持:突發性粒子超標報警可定位到具體工具機的異常振動源或材料破損點。
2.生物醫藥領域
GMP車間動態分級測試:對無菌灌裝線的層流罩進行在線監測,確保符合EU GMP Annex 1要求;
滅菌效果驗證:比較輻照前后空氣中微生物載體粒子的變化量,間接反映Cobalt-60滅菌穿透性;
隔離系統完整性檢查:通過挑戰測試檢測手套端口等關鍵部位的泄漏風險。
3.材料科學研究
納米粉體表征:分析氣相合成法制備的碳納米管團聚狀態及其空氣動力學直徑分布;
噴霧干燥優化:實時反饋霧化過程中液滴固化形成的微球粒度均一性指標PDI值;
過濾器研發測試:評價新型靜電紡納米纖維膜對超細顆粒物的截留譜圖特征。
4.工業過程控制
IAQ管理:辦公大樓通風系統的PM2.5/PM10濃度梯度測繪,指導新風量調節策略制定;
印刷車間防爆預警:監控調墨區可燃性粉塵云的形成閾值,聯動聯鎖裝置切斷點火源;
食品包裝線衛生審計:量化生產線上方沉降菌攜帶的惰性顆粒污染物基數。
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