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隔膜真空泵通過氣動或電動驅動隔膜往復運動，實現高效抽真空，其核心原理可分為驅動方式、隔膜運動及真空生成三個關鍵環節：
1.驅動方式：氣動或電動提供動力
氣動驅動：以壓縮空氣為動力源，氣源壓力通常需大于2kg/cm²。壓縮空氣通過進氣閥進入泵體氣腔，推動隔膜向一側運動，同時另一側氣腔內的氣體通過排氣閥排出。換向機構（如配氣閥）自動切換壓縮空氣流向，驅動隔膜反向運動，形成連續往復循環。此設計無需電力，適用于易燃易爆或強腐蝕性環境。
電動驅動：采用微型直流電動機（如5V、12V、24V）或微型長壽電機，通過機械偏心裝置帶動隔膜做往復運動。電機旋轉運動經偏心輪轉換為直線運動，驅動隔膜壓縮和拉伸泵腔。
2.隔膜運動：往復循環改變腔體容積
隔膜采用高強度彈性材料（如PTFE或橡膠），在驅動力的作用下做直線往復運動。當隔膜向一側移動時，泵腔容積擴大，壓強降低，形成負壓區；當隔膜反向運動時，泵腔容積縮小，壓強升高，形成正壓區。通過連續往復運動，泵腔內氣壓交替變化，實現氣體的吸入與排出。
3.真空生成：壓力差驅動氣體流動
在隔膜往復運動過程中，泵腔與外界大氣壓產生壓力差。當泵腔內壓強低于外界大氣壓時，氣體通過進氣口被吸入；當泵腔內壓強高于外界大氣壓時，氣體通過排氣口被壓縮排出。部分機型采用多級隔膜設計，通過多個隔膜交替作用提升抽氣效率，縮短達到目標真空度的時間。
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