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高精度檢測能力
菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240 配備微聚焦 X 射線管（焦點尺寸≤50μm）和可電動切換的準直器（最小測量點直徑 0.1mm），可精準測量半導體芯片金線鍍層、精密傳感器電極等微型結(jié)構(gòu)115。其比例計數(shù)器探測器能實現(xiàn)高計數(shù)率，配合菲希爾基本參數(shù)法，無需標準片即可完成高精度測量，鍍層厚度測量精度可達納米級（如 80nm 金鍍層的重復精度為 2.5nm）524。
智能化測量系統(tǒng)
儀器內(nèi)置 500 萬像素彩色視頻顯微鏡，支持 38x-184x 光學變焦，可實時觀察樣品表面細節(jié)并標記測量區(qū)域，定位精度達 ±0.005mm59。通過 WinFTM® 軟件可實現(xiàn)測量程序預設（最多 100 組）、數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析及報告生成，滿足 ISO 9001 等質(zhì)量管理體系要求59。
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