mlase ag是紫外線工業產品提供商,2007年12月由TuiLaser AG的前員工創立以來。
可以提供MLI激光器的產品技術資料,安全技術資料,操作說明,維修手冊,工廠能提供原產地證明。
1.MLI 系列設備為工業應用提供具有直接波長的準分子激光器。。由于均勻的光束輪廓和能量穩定性。
2.MLI 系列激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有達 16 mJ 的脈沖能量和1,000 Hz 的重復頻率。
3.如果需要,標準設置的激光器可以根據個人需求進行調整。如:激光器可用的波長為 193 nm(氣體:ArF 氟化氬)和 248 nm(氣體:KrF 氟化氪)。可根據要求提供其他波長如157nm等,也可以提供如功率版本HP
型號:
MLI-200 / 500 / 1000激光器
MLI-500LC / 1000LC激光
MLase這些激光器的工業應用包括:
光纖布拉格光柵的寫入(FBG)
光學檢測和計量,如測試微光學器件
激光結構化和劃線
陶瓷、金屬或塑料等材料的微加工
激光燒蝕/脈沖激光沉積(PLD,ICP-MS)
在用于檢查掩模或直接晶片處理的半導體制造中
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