日本LINTEC（琳得科）汽化器 的典型型號及技術介紹，適用于半導體、電子封裝等領域的精密涂布工藝：

1. 核心型號及特點

(1) 標準型汽化器

型號：VEC-2000

• 用途：液態材料（光刻膠、溶劑）的汽化沉積

• 技術參數：

• 汽化溫度范圍：50~300℃（±0.5℃控溫）

• 最大流量：2000cc/min

• 適用材料粘度：1-1000cP

• 優勢：
  ? 均勻汽化，膜厚偏差＜±3%
  ? 模塊化設計，支持快速換料

(2) 高精度型

型號：VEC-3000P

• 用途：半導體晶圓級封裝（如PI膠、SiO?前驅體）

• 技術參數：

• 汽化精度：±0.1mg/min

• 支持惰性氣體保護（N?/Ar）

• 集成式過濾器（防顆粒污染）

• 優勢：
  ? 適用于高純度工藝（Class 100潔凈環境）
  ? 符合SEMI標準

2. 行業應用

3. 技術優勢

• 無氣泡汽化：專的利渦流加熱技術，避免材料分解

• 智能控制：觸摸屏設定參數，自動記錄工藝數據

• 安全設計：過溫/過壓保護，通過CE/JIS認證

4. 選型建議

• 基礎工藝：VEC-2000（性價比高）

• 高純環境：VEC-3000P（超低顆粒釋放）