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薄膜的跨尺度力學行為表征

來源:凱爾測控試驗系統(天津)有限公司   2025年08月04日 13:57  

      薄膜的跨尺度力學行為表征是研究薄膜材料在不同尺度下力學性能和行為的重要方法,以下是相關介紹:
研究內容

       薄膜脫膠力學表征:研究薄膜界面斷裂能、穩態斷裂能、分離強度等相關參量間的變化規律,通過理論和實驗研究,揭示薄膜脫膠過程中的力學機制。薄膜撕裂試驗力學表征:分析薄膜在撕裂過程中的力學行為,獲得薄膜界面斷裂能、穩態斷裂能、分離強度、材料特征尺度等相關參量間的變化規律,理論結果與實驗研究結果相互印證,同時進行分子動力學(MD)模擬研究。薄膜劃痕試驗力學表征:針對薄膜劃痕試驗,研究薄膜界面斷裂能、穩態斷裂能、分離強度等相關參量間的變化規律,與實驗結果進行對比,也開展MD模擬研究。承載基底上薄膜脫膠特征研究:對承載基底上的薄膜脫膠進行嚴格理論求解,證明此情況的薄膜脫膠解答不具有穩態脫膠解的特征。熱障涂層熱震失效及災變機制研究:以典型硬膜-熱障涂層為例,研究其熱震失效及災變機制,獲得熱震臨界溫度和災變冪次規律。研究方法

       實驗方法拉伸試驗:如天津大學葉龍教授團隊提出的“freestanding-film assisted by smart transfer(FAST)”方法,可實現對自支撐高分子光電薄膜的拉伸性能測試,能準確反映薄膜在實際應用中的真實力學行為。原子力顯微鏡(AFM):可用于測量薄膜的表面形貌、粗糙度、粘附力等力學性能,還能進行納米尺度的力學測試,如納米壓痕、納米劃痕等。電子顯微鏡(SEM):觀察薄膜的微觀結構、缺陷、裂紋等,分析薄膜在不同力學條件下微觀結構的變化,輔助研究薄膜的力學行為。

        理論方法建立宏觀粘附力學理論和微觀粘附力學理論:如北京大學戴兆賀研究員課題組針對納米薄膜粘附行為,建立了針對膜和板的宏觀粘附力學理論和微觀粘附力學理論,考慮了宏觀理論中所忽略的物質之間長程作用力。跨尺度本構模型:上海交通大學張文明教授團隊與姜學松教授合作,建立了聚合物薄膜表面失穩-動態超分子鏈之間的跨尺度非線性本構力學模型,厘清了光驅動表面失穩-薄膜應力松弛-動態分子的跨尺度耦合作用機制。

        數值模擬方法有限元方法:通過建立薄膜的有限元模型,對薄膜在不同載荷、邊界條件下的力學行為進行數值模擬,預測薄膜的應力、應變、變形等力學響應。分子動力學(MD)模擬:在微觀尺度上模擬薄膜分子的運動和相互作用,研究薄膜的微觀力學行為,如薄膜的斷裂、滑移等過程。

      

一、薄膜跨尺度力學行為的核心特征

薄膜的跨尺度力學行為源于其 “尺寸效應”“界面效應” 和 “結構梯度”,具體表現為:


  • 納米尺度:受限于薄膜厚度(通常 1-1000nm),微觀結構(如位錯、晶粒)的演化被強烈約束(如位錯難以穿過薄膜表面,導致 “尺寸強化”);

  • 微米尺度:薄膜與基底的界面作用(如粘結強度、應力傳遞)顯著影響局部變形(如界面脫粘、褶皺);

  • 宏觀尺度:整體力學性能(如拉伸強度、斷裂韌性、疲勞壽命)是微觀機制(如缺陷增殖、界面失效)的宏觀體現。

二、跨尺度力學行為的表征方法

針對不同尺度的力學行為,需結合實驗、模擬與理論分析,構建 “從微觀到宏觀” 的完整表征體系。

1. 原子 / 分子尺度:鍵合與原子運動表征

核心目標:揭示原子間相互作用、鍵斷裂 / 重構對力學行為的影響(如彈性模量、斷裂強度的原子起源)。


  • 實驗方法
    • 高分辨透射電子顯微鏡:直接觀察原子排列、位錯核心結構(如金屬薄膜中的全位錯、部分位錯);

    • 原子力顯微鏡(AFM):通過 “原子力 - 位移曲線” 測量單根分子鏈或二維材料(如石墨烯)的原子級彈性與斷裂行為。

  • 模擬方法
    • 分子動力學(MD)模擬:基于原子間勢函數(如金屬的 EAM 勢、聚合物的 REBO 勢),模擬拉伸、剪切過程中原子運動(如位錯萌生、晶界滑移),計算原子尺度的應力 - 應變關系;

    • 密度泛函理論(DFT):計算原子鍵合強度、彈性常數(如石墨烯的面內彈性模量源于 C-C 鍵的強共價作用)。

2. 納米 / 微米尺度:微觀結構與局部變形表征

核心目標:量化微觀結構(如晶粒尺寸、缺陷密度)對局部應力 / 應變的影響,揭示塑性變形、損傷的微觀機制。


  • 實驗方法
    • 原位透射電鏡(in-situ TEM)力學測試:在 TEM 中對納米尺度薄膜試樣(如納米帶、納米線)施加拉伸 / 壓縮載荷,實時觀察位錯運動、晶界滑動、裂紋萌生(如鋁薄膜中 “位錯塞積導致晶界開裂”);

    • 微壓痕技術(如納米壓痕儀):通過針尖壓入薄膜表面,測量載荷 - 位移曲線,計算局部硬度、彈性模量(考慮基底約束對壓痕結果的影響);

    • 數字圖像相關(DIC):通過微米級分辨率的光學圖像,追蹤薄膜表面的局部應變分布(如柔性聚合物薄膜拉伸時的 “應變集中區”)。

  • 模擬方法
    • 離散位錯動力學(DDD):模擬微米尺度下的位錯成核、運動與相互作用,解釋 “薄膜厚度減小導致強度提高” 的尺寸效應(如銅薄膜厚度從 1μm 降至 100nm,強度提升 3 倍);

    • 相場模擬:描述微觀結構(如晶粒生長、相變)與力學場的耦合(如薄膜退火過程中晶粒粗化對硬度的影響)。

3. 宏觀尺度:整體力學性能表征

核心目標:獲取薄膜的宏觀力學參數(如拉伸強度、斷裂韌性、疲勞極限),并關聯微觀機制。


  • 實驗方法
    • 宏觀拉伸測試:采用微型拉伸試樣(寬度 < 1mm),測量應力 - 應變曲線,獲取彈性模量、屈服強度、延伸率(如聚酰亞胺薄膜的延伸率可達 50%,源于分子鏈的取向與滑移);

    • 彎曲 / 褶皺測試:評估薄膜的柔性與抗屈曲能力(如柔性電子薄膜在反復彎曲下的疲勞行為);

    • 界面力學測試:通過 “剝離試驗”“剪切試驗” 測量薄膜與基底的粘結強度(如金屬薄膜與硅基底的界面脫粘會導致器件失效)。

  • 理論方法
    • 連續介質力學模型:基于胡克定律、塑性本構關系,描述薄膜的宏觀變形(如薄膜在基底約束下的熱應力計算);

    • 統計力學模型:將微觀結構參數(如晶粒尺寸)引入宏觀本構方程(如霍爾 - 佩奇關系:σ=σ?+kd?1/2,其中 d 為晶粒尺寸,解釋晶粒細化對強度的強化作用)。

三、跨尺度關聯:從微觀機制到宏觀性能

跨尺度表征的核心是建立 “微觀機制 - 宏觀性能” 的定量關聯,需通過多尺度耦合方法實現:


  • 自下而上耦合:將原子 / 納米尺度的模擬結果(如位錯密度、界面強度)作為微米 / 宏觀模型的輸入參數(如用 MD 計算的位錯遷移能,修正 DDD 中的位錯運動速率);

  • 自上而下耦合:通過宏觀實驗反推微觀參數(如用宏觀斷裂韌性測試,結合斷裂力學理論,計算裂紋的微觀塑性區尺寸);

  • 多尺度模擬平臺:如 “準連續介質方法(QC)”,在原子尺度區域采用 MD 模擬,在宏觀區域采用連續介質力學,通過界面耦合實現跨尺度計算(如模擬納米薄膜裂紋擴展時,裂紋用原子模型,遠處用連續介質模型)。


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