真空管式爐的工藝流程

來源：山東萊恩德智能科技有限公司 2025年08月07日 15:14

　　真空管式爐通過結(jié)合真空技術(shù)與熱處理技術(shù)，在真空或可控氣氛環(huán)境下對材料進(jìn)行高溫加熱處理，其工藝流程如下：

　　1、樣品放置與密封

　　將待處理材料放入爐管內(nèi)，注意避免堵塞氣體通道。關(guān)閉爐門后，通過法蘭和密封圈（如氟橡膠O型圈）實(shí)現(xiàn)真空密封。

　　2、抽真空與通氣

　　啟動真空泵抽至目標(biāo)真空度，或根據(jù)工藝需求通入特定氣體。例如，在CVD（化學(xué)氣相沉積）工藝中，需先抽真空再通入反應(yīng)氣體以沉積薄膜。

　　3、加熱與保溫

　　在溫控儀上設(shè)置升溫程序，啟動加熱后，系統(tǒng)自動執(zhí)行升溫、保溫階段。例如，金屬熱處理可能需在800℃保溫2小時(shí)以完成相變。

　　4、冷卻與取樣

　　加熱結(jié)束后，可選擇自然冷卻或通入氣體加速冷卻。待溫度降至安全范圍（如<100℃）后，打開爐門取出樣品。

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