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1、（中國科學院大連化學物理研究所，遼寧大連116023）
2、（ 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所，吉林長春130021）
摘!要：隨著氧碘化學激光器（COIL）的不斷提高，傳統(tǒng)的膜系設(shè)計已不能滿足要求。在倍頻膜系的設(shè)計基礎(chǔ)上，優(yōu)化設(shè)計出了激光45度入射對1315nm和632.8nm雙波長高反（HR）并在1315nm處具有90度相位延遲的高反射鏡，其基底材料為融石英，高折射率材料為ZrO2，低折射率材料為SiO2。然后，采用電子束蒸發(fā)手段制備了口徑為200nm的高反射相位遲鏡。zui后對該延遲鏡的性能進行了測試，結(jié)果表明：對632.8nm的 波長的反射率大于等于95.0% ，對1315nm波長的反射率大于等于99.8% ，位相延遲在90.235度到95.586度。
關(guān)鍵詞：氧碘化學激光器；位相延遲；倍頻膜系
中圖分類號：TN258.5 文獻標識碼：A
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