1.       接好電源線和測試線，將測試線與待測試器器件連接好。量程置于10⁴檔，從儀器后面板調電壓按鈕到所要求的測量電壓。

2.       接通電源調零，在“Rx”兩端開路的情況下，調零使電流表的顯示為0000。

3.       將待測試樣平鋪在不保護電極正中央，然后用保護電極壓住樣品，再插入被保護電極（不保護電極、保護電極、被保護電極應同軸且確認電極之間無短路）。

4.       測試：接好線路，側體積電阻時測試按鈕撥到Rv邊，測表面電阻時測試按鈕撥到Rs邊，接通電源同時開始計時，量程按鈕從低檔位逐漸撥，每撥一次停留1-2秒觀察顯示數字，當被測電阻大于儀器測量量程時，電阻表顯示“1”，此時應繼續將儀器撥到量程更高的位置。測量儀器有顯示值時應停下，在1min的電化時間后測量電阻，當前的數字乘以檔次即是被測電阻。

5.       測試完畢將量程撥至（10⁴）檔，測試按鈕撥到中央位置后關閉電源。

6.       注意事項

應在“Rx”兩端開路時調零，一般一次調零后在測試過程中不需再調零。

禁止將“R_X”兩端短路，以免微電流放大器受大電流沖擊。

在測試過程中不要隨意改動測量電壓。

測量時從低次檔逐漸撥往高次檔。

接通電源后，手指不能觸及高壓線的金屬部分。

測試過程中不能觸摸微電流測試端。

在測量高阻時，應采用屏蔽盒將被測物體屏蔽。

*先做體積電阻率然后做表面電阻率測試