首先要了解成分參數檢測，必須了解一些定義。成分是指混合氣體或液體中的各個組分，成分檢測的目的是要確定某一或全部組分在混合氣體（液體）中所占的百分量。在工業生產及科學實驗中，需要檢測的成分參數有很多，例如，在鍋爐燃燒系統中，為了確定爐子燃燒狀況，計算燃燒效率，要求知道煙氣中O₂、CO、CO₂等氣體的含量。工業上通常使用的氧化鋯氧量分析儀俗稱氧化鋯氧分析儀，已經在許多企業都在使用。

  成分參數的檢測方法主要有化學式、物理式和物理化學式等。其中化學式和物理式檢測方法是利用被測樣品中待測組分的某化學或物理性質比其他組分有較大差別這一事實工作的。例如，氫氣的熱導率比其他氣體大得多，由此構成的熱導式檢測方法可檢測混合氣體中的氫含量；氧氣的磁化率是一般氣體的幾十倍，利用這一性質構成的熱磁式檢測方法可檢測氧氣的含量。物理化學檢測方法主要依據待測組分在特定介質中表現出來的物理化學性質的不同來分析待測組分的含量。例如，利用氧化鋯電解質構成濃度差電池測量氧含量；利用色譜柱可將被測樣品中各組分進行分離。

  近年來，隨著半導體制造技術的發展，出現了一些半導體氣敏檢測元件，它們主要是由金屬氧化物半導體材料制成的。不同的氧化物材料對氣體的敏感作用是不一樣的，因此可用來檢測不同的氣體組分。目前，半導體氣敏檢測元件可檢測H_2、CO、H₂S、NO₂以及其他還原氣體。

  現在社會廣泛的關注環境，國家在一些脫硫、脫硝設備上，一些鍋爐煙道中，都安裝了氣體監測儀，有效的監測了反應爐內燃燒情況，控制燃燒進度，減少廢氣的排放，為企業減少了能損耗，為環境降低污染。