真空泵故障診斷也希望無需把正在運轉的真空泵停下來拆開而用各種方法取得有關數據，診斷真空泵內部的故障狀況，從而采取一定的維修措施，使真空泵長周期、率運轉。

按執行維修的內容和周期可分如下三種

事后維修

俗語 壞了就修，故障發生后根據故障的性質及范圍決定維修內容，這類維修造成損失較大，它打亂了生產計劃。因維修準備倉促而無法保證維修質量，停機周期廠，往往不能在停機維修發生故障部位的同時，真空泵維修中其他亞健康不菲，會防不勝防。

預防性維修

未定期對真空泵進行維修，設備管理者根據真空泵資料和同行業與企業的多年經驗，從制度上規定設備或車輛按一定周期進行規定內容的大、中、小維修或一、二、三保養。真空泵運行到規定周期后不管真空泵狀況如何，都要執行進行規定內容的維修，這種維修隊消除故障隱患和真空泵在運行周期中不處大故障有好的保障，但經濟性不佳。意識這些維修規范的制定以在惡劣條件下維修間隔內不處故障為前提，因而在正常條件下會有一定余量，貳拾某些還是健康的零部件也會被換掉，三是一些已磨合好的運動副換了新品需再磨合，效率會下降。

預知真空泵位或視情維修

對一些主要真空泵或移除故障真空泵進行狀況監護，在真空泵將出故障時維修，既延長了真空泵運行周期，又有的放失地安排維修內容，提率，節省人力財力和時間，是的維修方式。而要實行此種維修方式，就要建立在及時有效的故障診斷技術的基礎上，研究真空泵故障診斷的母的就是要達到實施預防維修。