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真空泵是一種旋轉式變容積氣體輸送泵，包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵，具有在較寬的壓力范圍內有較大的抽速等特點，被廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等各個行業。
真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。如立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。
當使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求，的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機組，它能使真空系統得到較好的真空度及排氣量。我們應正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨－旋片機組不適用于含有較多可凝性氣體的系統。
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