APM-HB03HBH-GY

韓國邁克彼恩Mecapion ，其前身為韓國麥特斯Metronix 株式會社成立于1995年，于2007年3月份正式更名為邁克彼恩Mecapion，是韓國zui大的自動化設備及機械裝置方面的核心部件即旋轉編碼器、伺服系統等產品的開發研制、生產、銷售和售后服務的優良企業，并獲得了ISO9001質量體系認證。開發完成半導體設備8‘’及12‘’晶圓用 spinner電機適用于涂膠，顯影及清洗工程

實現率瞬間加速特性-100.000rps以上

可根據客戶的要求，定做各種SPinner電機

按照客戶的要求提供多種中空軸

采用磁性流體密封，強化耐環境性

表面進行特殊涂布處理，強化耐腐蝕性

應用范圍：

　　1，半導體制造工業

　　2，設備應用

　　A.曝光顯影設備(涂膠，顯影)光刻加工程序的主要設備及掌控涂層，曝光，顯影。

　　B.清洗、蝕刻設備用于蝕刻，清洗，去膜設備。

　　C.清洗設備適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。

　　技術含量

　　設備條件

　　高轉速(5000rpm~8000rpm)真空軸

　　加/減速時間冷卻系統(水冷系統)

　　低噪音和振動zui低公差

　　中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制

　　采用重疊設計是尺寸zui小化