電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計, 在苛刻的生產環境中具有穩定的性能. 先進的數字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點,如一鍵調零功能和設點調整. 抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩定性與預期數百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命. *的傳感器屏蔽 (技術)保護真空計防止過程污染. 堅固耐用的機械結構和數字電子學加強了 EMC 兼容性,長期穩定性和溫度補償性. CDG025D 真空計為從電源接通后的快速穩定與暴露大氣壓后快速恢復等特性設定了新的標準.
電容膜片真空計應用范圍:
1,要求高的應用條件下,而快速的壓強測量:
2,用于刻蝕,CVD, PVD, ALD半導體制造設備
3,資料貯存和顯示器制造設備
4,工業真空設備
5,常用高精度真空測量
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