另外，油變質了必須更換新的真空泵油，電源缺相，應檢修電源。油封旋片真空泵長期使用后，會出現真空度下降、密封處漏油、真空泵轉動停滯、甚至發生“卡死”、油污染嚴重、真空泵腔生銹、旋片有大的撞擊聲、真空泵腔內落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過熱等異常現象，此時必須對真空泵進行拆洗。  

阿爾卡特真空泵維修拆洗步驟如下： 

切斷電源，將真空泵從真空系統上卸下，  

用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來，以免污染環境；  

卸下皮帶、皮帶輪積鍵(雙級旋片真空泵包含皮帶);  

先拆低真空端，取下后端蓋，再取出低真空轉子、旋片及彈簧等；  

將前端蓋拆下，取出高真空轉子、旋片及彈簧等；  

取下視鏡、排氣閥、排氣蓋等；  

將所拆下的金屬零件用汽油*清洗干凈，并用酒精脫水。橡膠零件可用15％的氫氟化鈉水溶掖煮沸去油。對有毛刺或生銹的零部件．可用油石或金相砂紙輕輕地研磨，以去除銹斑和毛刺。清洗后的零部件必須烘干；  

裝配時，先裝后級，將彈簧、旋片托起裝入轉子內，然后放入真空泵腔．裝上前端蓋．再裝定位銷．均勻對稱地擰緊螺釘。裝配后．應保證轉動靈活、均勻。裝好前級轉子及后端蓋后，再裝排氣閥（排氣閥片應貼緊閥座）及其它件，如氣鎮裝置等。