氦氖激光器是使用時間早,技術成熟,應用的激光器之一。氣體原子具有確定的能級結構,在外界的電子激發后發生能級躍遷產生粒子數反轉,產生受激輻射,發出激光。因此氦氖激光波長是純凈的單色光,線寬極窄,波長誤差只有幾納米,因此具有極大的相干長度。有些靠能帶躍遷發光的激光器如LD的單色性與相干性無法與之相比。原子能級結構是確定的,因此激光不受溫度波動影響。加上諧振腔的作用保障了激光輸出具有良好的準直性,發散角只有幾個毫弧度。在需要良好單色性、相干性和準直性的場合,特別是精密測量領域,氣體激光器具有不可動搖的地位。 氦氖激光器主要缺點是需要高壓直流供電,需要較高的技術含量,與LD相比成本較高。
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