真空聯接的密封性能取決于聯接處的泄漏和真空材料的放氣。對任何真空系統總希望漏、放氣量越小越好，但由于漏、放氣量與密封型式、密封材料、加工精度及裝配質量等諸因素有關，故在聯接處總會存在一定的漏、放氣量，因此可根據真空系統工作的性質、真空室工作應力的高低及其出口處抽氣速度的大小提出要求。 　　真空系統中的壓力在高于10-5Pa真空范圍內廣泛使用合成橡膠、環氧樹脂和塑料。當真空度提到壓力10-7Pa的真空范圍時，這些密封材料就不能用了，需要應用超高真空的密封材料如金或銅做墊圈，而真空殼體不能用軟鋼，需要改用不銹鋼。 　　超過真空系統內的氣體狀態是動態平衡狀態。系統內的壓力極限，一方面與泵的有效抽速有光，另一方面與來自真空殼體及其內部的零部件的氣流量有關。因雖有系統的有效抽速由于泵有結構尺寸和費用等原因，總存在實際限制。所以，減少氣流量就成為達到超高真空狀態的基本設計目標，成為選擇超高真空材料的主要準則。 　　作為真空系統內部用的材料，要求飽和蒸汽壓低，為了減少慢性解吸和體出氣，要求能耐450℃高溫烘烤，而不降低機械強度和不發生化學和物理損傷。作為真空系統殼體材料，要求能忽略氣體滲透，承受得住大氣壓的壓力，烘烤期間耐空氣侵蝕和不發生漏氣。此外，要求選用的材料，加工制作容易，價廉易得。 　　對于真空低于10-7Pa的超高真空，雖然天然和合成橡膠是理想的密封圈材料，彈性好，裝配成真空密封后法蘭螺栓受力很小，而且可以多次重復使用。但由于超高真空系統要求密封圈材料耐250℃烘烤，實際上可供選用的幾種橡膠材料都不能滿足要求。真空度更高(即壓力更低)的超高真空，則必須采用金屬密封。

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