溫度控制。花費因素變量：-0.0321至 0.15

　　溫度和濕度的變化能夠引起生產(chǎn)設(shè)備的誤差，從而影響生產(chǎn)過程的可重復(fù)性，終導(dǎo)致產(chǎn)品合格率降低、增加浪費。因此，潔凈室對溫度嚴格控制要求是顯而易見的，這項花費是必須的。

　　通常情況下，要求工程師在設(shè)計時降低施工費用，同時要求在很大區(qū)域內(nèi)對溫度進行的控制，允許的溫度變化范圍在±4到6華氏度之間(例如使用卷簾門的倉庫)。在沒有硬墻和氣閘裝置時，這將是十分苛刻的要求，并且實際上無法控制濕度的變化。人們通常認為潔凈室外的潔凈度、溫度、濕度和氣壓等項目的層疊性是非常容易達到的，并且很容易維持，但需要仔細的評估這些項目的誤差范圍。

　　如果對潔凈室內(nèi)的暖通、動力專業(yè)裝置和控制系統(tǒng)有嚴格要求，例如潔凈室的溫度控制要求為正負0.1華氏度所用花費，可能比基準點為70華氏度，±2.0度(即標準要求68到72華氏度)的高出20%到50%。

　　在每個潔凈室區(qū)域內(nèi)，有局部自動調(diào)溫器來控制設(shè)計溫度。它能驅(qū)動安裝在風管上的局部再熱或再冷盤管工作，來滿足房間內(nèi)的濕熱的要求。如果使用風機盤管裝置，局部自動調(diào)溫器控制本區(qū)域內(nèi)盤管出口空氣的溫度。

　　7. 溫度控制。花費因素變量：-0.034至0.19

　　每個潔凈室內(nèi)的相對濕度，通過局部濕度調(diào)節(jié)器來進行控制。如果窨內(nèi)的相對濕度較高，恒濕器通過降低冷凍盤管流出空氣的溫度來加強除濕。同時，再熱盤管提供熱量來保持窨的溫度。任何一個潔凈間的相對濕度超出了設(shè)計范圍，局部恒濕器將啟動安裝在風管上的局部濕度調(diào)節(jié)器。當必須滿足的濕度控制時，通常利用空調(diào)箱中的新風的絕熱增濕效果來實現(xiàn)，并通過潔凈室的結(jié)^***來維持。

　　濕度水平的局部變動可以通過超聲波濕度調(diào)節(jié)器進行控制，該調(diào)節(jié)器位于終過濾前的風管靜壓箱內(nèi)。用水水質(zhì)為RO/DI，水電陰率在3到5mgm之間。如果相對濕度低于設(shè)計范圍，恒濕器將啟動濕度調(diào)節(jié)器來增加新風的水分含量。如果相對濕度較高，恒濕器將降低新風控制冷凍盤管流出空氣的^***溫度，從而加強除濕效果。

　　8. 排風系統(tǒng)。花費因素變量：-0.031至0.16

　　典型的工藝排風系統(tǒng)包括：酸、溶劑和VOC、毒性物質(zhì)、熱和一般的房間排風。如果廢氣中有氨氣出現(xiàn)，一些廠家會選擇使用分開的風管系統(tǒng)和處理系統(tǒng)。使用多、普遍的酸消除方法，是水平或垂直氣體洗滌塔。溶劑和VOC的去除通常運用就地或當場高溫破壞的方法。需要認真選擇支隊的方式及必須支隊的廢氣流量。

　　的空氣處理設(shè)備能夠?qū)U氣量降至低，因此，在實施過程中可降低工程費用和能源浪費。保持排風量增加的潛在需求、擴大生產(chǎn)和安裝這些備用品所需的經(jīng)濟價值之間的平衡是十分重要的。通常情況下，考慮到潔凈室將來的擴展，當其它動力設(shè)備和暖通、動力專業(yè)系統(tǒng)(例如新風和冷卻)不能滿足這種擴充的需求時，超大的昂貴的、不銹鋼襯里的或FRP排風系統(tǒng)就已經(jīng)建立了。沒有考慮將來的需求而建立的酸排隊系統(tǒng)也是十分普遍的。增加風量和新的風管支管，，就會使風管系統(tǒng)中的風速超過每分鐘4000英尺。這樣的系統(tǒng)保持平衡是十分困難的或不可能的，并且運行的費用昂貴。

　　9. 振動和噪聲控制。花費因素變量：-0.027至0.10

　　設(shè)備的大小和重量影響振動的傳播及控制。潔凈室地板下面的“華夫(waffle)”混凝土板層，能夠很好地避免將設(shè)備的振動傳送到其他生產(chǎn)區(qū)域或度量衡工具上。即使為了安裝管道而在潔凈室的地面上鉆洞，Waffle混凝土板層仍能保持其風性。因為地板的強度在于它的柵格系統(tǒng)，并可進行重新整理。因此可在地板上沖壓額外的孔洞，而不會對振動因素有任何副作用。

　　所有的暖通、動力專業(yè)設(shè)備應(yīng)使用彈簧、軟件接和隔離安裝等隔絕振動的方式，將振動效應(yīng)降到低。低噪音的節(jié)能風機和馬達，可以用來維持潔凈室NC水平。振動和噪聲方面的專家應(yīng)是評估小組的成員，他們來用于振動和噪聲方面的專家應(yīng)是評估小組的成員，他們來核實用于振動和噪聲控制中的機械和建筑學原理。完工后的再處理可能是十分昂貴的。如果建筑師、暖通、動力專業(yè)工程師、業(yè)主和顧問從設(shè)計的開始就考慮這些因素，可以免去許多潛在的昂貴的檢測，或用更經(jīng)濟的辦法取代。

　　10. 磁通量和電磁通量。花費因素變量：0.037至0.15

　　磁通量被認為是銀河系中海洋微粒背景的流量。銀河系的放置也被認為是自然界的電磁循環(huán)。“通量”這個詞代表流量，我們可以認為磁力線就象某種液體流動的路線那樣穿過一個假想的表面。磁場的大小代表流動的速度，它的方向就是流動的方向。磁通量就是流過這個表面的所有的容量。為了更好地理解，我們可以認為磁通量就是穿過這個表面的磁力線的數(shù)量。