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超純水設備采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水設備又稱做：超純水器，超純水機，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.25兆歐。
一套完整的水處理系統由預處理系統、精處理系統、后處理系統三大部分組成。首先，為了保證純水設備不受損害必須對原水進行預處理，采用精密過濾器方式，避免投加藥劑對水質造成污染;其次，進行離子交換工藝，采用EDI模塊去除水質中的鹽分; 后，對水質進行深度殺菌處理，保證應用水質*生產需求。原水經PP濾芯（砂棒過濾器）、活性炭單元、軟水器單元等預處理系統后，使水中的懸浮物（顆粒物質）、膠體、有機物、硬度、微生物等雜質含量大大降低，以減輕后續的反滲透、電除鹽等精處理系統的處理負荷，延長其使用壽命。
設備特點：
1. 透水量大，脫鹽率高。正常情況下≥98%
2. 對有機物，膠體、微粒、細菌、病毒、熱源等有很高的截留去除作用。
3. 能耗小，水利用率高，運行費用低于其它脫鹽設備。
4. 分離過程沒有相變，具有可靠穩定性。
5. 設備體積小，操作簡單、容易維護，適應性強，使用壽命長
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