在氣相條件中，臭氧殺滅微生物的效果，取決這幾個主要因素：臭氧閥值濃度，即當臭氧空氣濃度在達到此濃度要求時，才能具有殺滅微生物的能力；微生物種類；處理時間；臭氧分布方式；空間內的溫度和濕度條件；室內墻面、頂棚、地板及其他裝飾材料的還原性影響等。氣相條件下，臭氧對微生物的殺滅效果是有區別的，經實驗證明，臭氧對人、動物的致病菌、病毒具有很強的溶菌性殺滅作用。
　　影響氣相臭氧殺菌效果的環境因素主要是溫度和濕度。一般情況下，溫度低、濕度大則殺滅效果好，相對濕度＞70％，殺滅效果能很好的體現出來。這是由于相對濕度提高，可以使細胞膨脹、細胞壁變薄，使之更容易受到臭氧的滲透溶解。
　　 臭氧的毒性、腐蝕性及安全性解釋：臭氧是無毒物質安全氣體，談到它的毒性主要是其強氧化能力，在濃度高于1.5ppm以上時，人員須離開現場，原因是臭氧刺激人的呼吸系統，造成呼吸系統的應激性反應，嚴重的會造成可逆性傷害，為此，臭氧協會（IOA）制定衛生標準：臭氧協會：0.1ppm，接觸10小時；美 國：0.1ppm，接觸8小時；中 國：0.15ppm，接觸8小時，臭氧濃度在0.02ppm時，嗅覺靈敏的人便可覺察，稱為感覺臨界值，濃度在0.15ppm時為嗅覺臨界值，一般人都能嗅出，也是衛生標準點。當濃度達到1-10ppm時，稱為刺激范圍。事實上安全使用臭氧*可以保證人的健康不受危害。臭氧應用一百多年來，至今世界上無一例因臭氧中毒死亡事故發生。
　　 在具體使用中，臭氧消毒過程應與人員隔離，一般的臭氧發生裝置都是自動控制的，只要設定好相關參數，即可以實現無人職守，這與化學消毒劑噴霧消毒需要專門培訓過的人員現場操作相比，對人員的身體健康更有保證。
　　 臭氧具有很強的氧化性，臭氧可以氧化很多金屬，鋁、鋅、鉛與臭氧接觸會產生氧化腐蝕，但含25％Cr的鉻鐵合金（不銹鋼）基本上不會受臭氧腐蝕。
　　 臭氧對普通橡膠腐蝕作用zui大，所以在應用中應使用耐腐蝕的硅橡膠或添加耐腐劑的橡膠制品。