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SF6氣體檢漏儀長期工作應注意泵油是否充足，泵內存油不得低于油標中心，油量不足將會影響工作性能，甚至損壞零件，油品是否清潔，對泵的真空度有影響。一般抽除干燥氣體約600-1000小時應進行更換新油，更換新油先開泵運轉30分鐘，使油變稀，旋開放油塞使泵腔內污油全部放出，再從加油孔加入一定新油，啟動電機運轉數秒鐘，對泵內部進行清洗，操作2-3次，達到清潔后放凈污油，裝上放油塞，再從加油孔注入新泵油至油窗中心，旋上加油塞。油采用HFV-1真空泵油，注意不得低于中心，但亦不能高出整個油窗，否則會產生噴油現象。
SF6氣體檢漏儀就是將被檢工作，利用壓縮機或壓縮空氣連接進一個壓力表，待充上氣后，密封，觀察壓力表24小時內壓力降情況，如有漏則壓力降低，但不能判斷什么地方漏，漏多少。當然還有許多其它方法，或者說，只能檢大漏，有的不能檢出漏在哪里，漏多少等弊端，所以在汽車空調等場合檢漏只有求助于氦質譜檢漏儀。SF6氣體檢漏儀的工作原理是帶電離子在磁場中受磁場力的影響，按其質荷比的大小，產生不同的偏轉而分離的原理。它是由產生離子的離子源，按質荷比分離的磁場和帶有放大功能的接收離子的離予接受器，保證離予正常運行，避免碰撞的真空系統和樣品導入系統，以及電氣控制系統五部分組成。
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