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X射線測(cè)厚儀測(cè)量原理及分類(lèi)

來(lái)源:江蘇天瑞儀器股份有限公司   2016年02月25日 18:02  
   對(duì)材料表面起保護(hù),裝飾作用的覆蓋層,如涂層,鍍層,敷層,貼層,化學(xué)生成膜等,在一些國(guó)家和標(biāo)準(zhǔn)中稱(chēng)為覆層(coating)。
  覆層厚度測(cè)量已成為加工工業(yè)、表面工程質(zhì)量檢測(cè)的重要環(huán)節(jié),是產(chǎn)品達(dá)到優(yōu)等質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的必要手段。為使產(chǎn)品化,我國(guó)出口商品和涉外項(xiàng)目中,對(duì)覆層厚度有了明確要求。
  覆層厚度的測(cè)量方法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測(cè)量法,稱(chēng)重法,X射線熒光法,β射線反向散射法,電容法、磁性測(cè)量法及渦流測(cè)量法等等。這些方法中前五種是有損檢測(cè),測(cè)量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗(yàn)。
  X射線和β射線法是無(wú)接觸無(wú)損測(cè)量,但裝置復(fù)雜昂貴,測(cè)量范圍較小。因有放射源,使用者必須遵守射線防護(hù)規(guī)范。X射線法可測(cè)極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號(hào)大于3的鍍層測(cè)量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測(cè)厚時(shí)采用。
  隨著技術(shù)的日益,特別是近年來(lái)引入微機(jī)技術(shù)后,采用磁性法和渦流法的測(cè)厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實(shí)用化的方向進(jìn)了一步。測(cè)量的分辨率已達(dá)0.1微米,精度可達(dá)到1%,有了大幅度的提高。它適用范圍廣,量程寬、操作簡(jiǎn)便且價(jià)廉,是工業(yè)和科研使用廣泛的測(cè)厚儀器。
  采用無(wú)損方法既不破壞覆層也不破壞基材,檢測(cè)速度快,能使 的檢測(cè)工作經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行。

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