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三坐標測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統經數據處理器或計算機等計算出工件的各點及各項功能測量的儀器。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。全封閉框架移動橋式測量機是一種精度高、測量速度快、性能穩定的測量系統。具有兼容多測頭系統功能：光學CCD影像測頭、激光測頭，具備的性價比；能夠滿足車間檢測需要，廣泛應用于各種零件、工裝夾具尺寸檢測及模具制造中的尺寸測量和復雜形面的快速掃描檢測。
在三坐標測量儀的高精密測量中，微小的熱量也會影響精度的穩定性，而當出氣孔的孔徑小于一定的直徑的時候，卻會相反的會在出氣孔的周圍形成冷凝效應，正是利用這一物理學原理，三坐標測量儀采用歐潼小孔出氣的技術，使得冷凝效應恰恰抵消測量中因為空氣摩擦產生的微弱熱量，使得設備保持長時間的溫度穩定性。測量機的采點發訊裝置是測頭，在沿X，Y，Z三個軸的方向裝有光柵尺和讀數頭。其測量過程就是當測頭接觸工件并發出采點信號時，由控制系統去采集當前機床三軸坐標相對于機床原點的坐標值，再由計算機系統對數據進行處理。
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