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薄膜沉積控制儀有非常高的穩定度和菲利浦產品慣有的精密度，下面來看下它的主要功能：
1、4位瞬間流量值和6我位或9位計流量值。
2、頻率輸入時可對超低頻進流量積算與瞬間時流量顯示。
3、可清除流量積算值、累計流量值清零。
4、可編程定量積算流量，可批量、定量控制。
5、變送輸出：0~10mA或者4~10mA
6、可重定值的瞬時、累計流量控制輸出。
7、可將兩個流量信號按配比合成后顯示瞬時流量及進行流量累計，模擬輸出可同時選擇兩路。
8、雙流量積算控制、雙模擬量變送。可批量、定量控制。
9、儀表斷電后，參數及累計流量值*保存。
以上是關于薄膜沉積控制儀的主要功能介紹。
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