臭氧發生器的物理性質，在常溫常壓下，較低濃度的臭氧是無色氣體。當濃度達到15%時，呈現出淡藍色。臭氧可溶于水，在常溫常壓下臭氧在水中的溶解度比氧高約13倍，比空氣高25倍。但臭氧水溶液的穩定性受水中所含雜質的影響較大，特別是有金屬離子存在時，臭氧可迅速分解為氧。在純水中分解較慢。臭氧的密度是2.14g•l（0°C,0.1MP）。沸點是-111°C,熔點是-192°C。臭氧分子結構是不穩定的，它在水中比在空氣中更容易自行分解。臭氧的主要物理性質列于表1-1。臭氧在不同溫度下的水中溶解度列于表1-2。臭氧雖然在水中的溶解度比氧大10倍，但是在實用上它的溶解度甚小，因為他遵守亨利定律，其溶解度與體系中的分壓和總壓成比例。臭氧在空氣中的含量極低，故分壓也極低，那就會迫使水中臭氧從水和空氣的界面上逸出，使水中臭氧濃度總是處于不斷降低狀態。
　表1-1 臭氧的主要物理性質
項目 數值 項目 數值
分子量 47.99828 粘度（液態），Mpa•S在90.2時 1.56
熔點（°C） -192.7+（-）0.2 表面張力，Mn/m在77.2K時 43.8
沸點（°C） -111.9+（-）0.3 表面張力，Mn/m在90.2K時 38.4
臨界狀態 溫度（°C） -12.1+（-）0.1 等張比容（90.2K） 75.7
臨界狀態 壓力（Mpa） 5.46 介電常數（液態，90.2K）,F/m 4.79
臨界狀態 體積（cm3/mol） 147.1 偶極距，C•m（D） 1.84*10 （0.55）
臨界狀態 密度（g/cm3） 0.437 熱容（液態，90-150K），F/m 1.778+0.0059（T-90）
密度 氣態（0°C,0.1Mpa）（g/l） 2.144 摩爾氣化熱，在161.1K時 14277
密度 液態（90K）（g/cm3） 1.571 摩爾氣化熱，在90K時 15282
密度 固態（77.4K）（g/cm3） 1.728 摩爾生成熱，KJ/mol -144
粘度（液態），Mpa•S在77.6K時 4.17 　 　

表1-2 臭氧在水中的溶解度
溫度，°C 溶解度，g/l
0 1.13
10 0.78
20 0.57
30 0.41
40 0.28
50 0.19
60 0.16