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1984 BenBeneq Group 的控股公司包括 Beneq Oy，它是使用原子層沉積進行工業生產的先驅;以及顯示技術的創新者Lumineq Oy。Beneq 和 Lumineq 均由 Beneq 集團全資擁有。eq Group 的控股公司包括 Beneq Oy，它是使用原子層沉積進行工業生產的先驅;以及顯示技術的創新者Lumineq Oy。Beneq 和 Lumineq 均由 Beneq 集團全資擁有。年，我們開Beneq 是原子層沉積的發源地。1984 年，我們建立了一個使用 ALD 的工業生產。今天，我們以研發（TFS 200，TFS 500，R2），半導體設備制造（TransformTM系列）、3D 和批量生產（P400A、P800、P1500）、超快空間原子層沉積 （C2R） 和卷對卷原子層沉積 （Genesis）。