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02-17微區(qū)XRF在嫦娥五號月壤單顆粒中的鈦鐵礦定量分析和鑒定中的應用
此前,嫦娥五號返回攜帶的月壤樣品引起了廣大科研人員的廣泛關注。中國科學院地質與地球物理研究所李金華研究員團隊對嫦娥五號(CE-5)月壤樣品中微米級顆粒中的鈦鐵礦開展了深入細致的原位微區(qū)分析,提出了一種無損快速鑒定和定量分析的全新表征方案(圖1)。相關成果發(fā)表在國際光譜學專業(yè)期刊《AtomicSpectroscopy》“MicroanalyticalTechniquesforExtraterrestrialSamples(PartII)”專輯(AtomicSpectroscopy,2022,43,2023
02-072022
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07-29布魯克Dektak-XT接觸式表面輪廓儀在晶圓測試方面的應用
自2014年起,國產12寸晶圓的量產問題得到解決,國產晶圓進入到一個飛速發(fā)展的時期中。晶圓作為芯片的載體,在當今科技時代起著至關重要的作用,小到遙控器、手機,大到航天領域,例如衛(wèi)星等都離不開晶圓。那么晶圓的加工工藝是否達到標準決定了成品的優(yōu)劣。今天筆者就為大家介紹BrukerDektak-XT接觸式表面輪廓儀在晶圓方面的測試應用。BrukerDektak-XT接觸式表面輪廓儀(臺階儀)作為Dektak系列第十代產品,經過50多年的更新升級及技術創(chuàng)新,目前已成為使用廣泛的接觸式表面檢測設備,有著眾2022
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