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2023
03-01

教你使用白光干涉儀的拼接測量功能
白光干涉儀的基本原理是通過不同的光學元件形成參考光路和探測光路，是利用干涉原理測量光程差，從而確定相關物理量的光學儀器。結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，然后通過一體化操作的測量分析軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，從而獲得反映器件表面質量的2D、3D參數，實現器件表面形貌3D測量。測量分析軟件1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能；2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；3）結合自定義分析模
2023
02-24

想了解關于激光干涉儀更多的，瞧這里
激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。激光干涉儀是建立在塞曼效應、牽引效應和多普勒效應的基礎之上的
2023
02-22

白光干涉儀和共聚焦顯微鏡的區別
對于現代愈發復雜的工藝檢測，諸如半導體、電子封裝及光學加工等產業中，由于表面微觀輪廓結構的準確性決定著產品的功能和效能，所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件（諸如半導體硅片及器件、薄膜厚度、光學器件表面、其他材料分析及微表面研究），都需要測量斷差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、體積、線寬等。同為微納米級表面光學分析儀器，白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式、高速度測量、高穩定性的特點，都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，適用范圍廣，可測多種類型樣品的表面微細結構。但白光干涉儀與共聚焦顯微鏡
2023
02-21

白光干涉儀的測量原理
一、通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。二、原理過程：(1)利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。(2)測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高
2023
02-15

共聚焦顯微鏡各部分名稱和功能
以共聚焦技術為原理，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的VT6000共聚焦顯微鏡，可對材料樣品的表面形貌直接進行成像，橫向分辨率可達1nm，Z軸分辨率可達0.5nm。不僅可對樣品表面形貌進行測量，提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，還提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括依據標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓
2023
02-15

基于共聚焦顯微技術的顯微鏡和熒光顯微鏡的區別
熒光顯微鏡主要應用在生物領域及醫學研究中，能得到細胞或組織內部微細結構的熒光圖像，在亞細胞水平上觀察諸如Ca2+、PH值，膜電位等生理信號及細胞形態的變化，是形態學，分子生物學，神經科學，藥理學，遺傳學等領域中新一代強有力的研究工具。以共聚焦技術為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。材料科學的目標是研究材料表面結構對于其表面特性的影響。因此，高分辨率分析表面形貌對確定表面粗糙度、反光特性、摩擦學性能及表面質量等相關參數具有重要意義。共焦技術能夠測量各種表
2023
02-15

影像測量設備都有什么？有哪些影像儀器？
影像測量儀器是廣泛應用于機械、電子、儀表的儀器。主要由機械主體、標尺系統、影像探測系統、驅動控制系統和測量軟件等與高精密工作臺結構組成的光電測量儀器。一般分為三大類：手動影像儀、自動影像儀和閃測影像儀。測量元素主要有：長度、寬度、高度、孔距、間距、厚度、圓弧、直徑、半徑、槽、角度、R角等。1、手動影像儀手動影像儀3軸采用手動驅動的方式，測量軟件為手動取點。是利用變焦物鏡對被測物體進行放大，經過CCD工業攝像裝置將圖像輸入電腦，放大后的被測物體影像傳輸到測量軟件，用以進行非接觸檢測各種復雜工件的幾
2023
02-14

沒想到一鍵影像儀擁有如此之多的特點
一鍵影像儀是一種新型的影像測量技術。它和傳統的二次元影像測量儀不同的是它不再需要光柵尺位移傳感器作為精度標，也不經過大焦距的鏡頭經過放大產品影像來保障測量精度。一鍵影像儀通過一個大視角大景深的遠心鏡頭，將產品輪廓影像縮小數倍或數十倍后傳遞至幾百萬像素高分辨率CCD相機上做數字化處理，再由有著強大計算能力的后臺繪圖測量軟件完成按照預先編程指令快速抓取產品輪廓圖，最后和以高像素相機微小像素點形成的標尺進行對比后計算出產品尺寸，同時完成對尺寸公差的評價。一鍵影像儀采用雙遠心高分辨率光學鏡頭，結合高精度
2023
01-16

激光干涉儀原理特點
一、激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。二、激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。三、位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼
2022
12-28

激光干涉儀快速檢測三坐標測量機垂直度
三坐標測量機測量精度高、效率高，廣泛應用在精密加工檢測領域。它與數控機床是保證工件測量與加工精度的關鍵設備。其中作為高精度的測量基準，幾何誤差的快速、高精度檢測技術都是三坐標測量機性能提升的關鍵。三坐標測量機運行速度的加快，動態誤差往往會比靜態/準靜態誤差對測量精度影響更大。特別在高速測量過程中，產生的自激振動和受迫振動，都會產生動態誤差。激光干涉儀是常用的機床、三坐標測量機幾何誤差檢測的手段。其中垂直度測量是通過比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度。三坐標測量機的垂直度誤差可能是導軌磨
2022
12-28

白光干涉儀3D形貌測量之美
白光干涉儀能測什么？有著“納米眼”之稱的白光干涉儀，是一款在縱向分辨率上可實現0.1nm的分辨率和測量可靠性的光學測量儀器。下面就讓我們一起來領略下國產白光干涉儀鏡頭下的3D顯微之美。SuperViewW1白光干涉儀白光干涉儀采用的光學輪廓測量法可以非接觸式測量非平坦樣品，輕松測量出彎曲和其他非平面表面，還可以測出曲面的表面光潔度、紋理和粗糙度等，同時不會像探針是輪廓儀那樣損壞薄膜。白光干涉儀3D形貌圖片：圖1.超光滑_納米級表面圖2.分成了32階的納米級微納光學元件圖3.半導體芯片表面外觀圖4
2022
12-19

重在品質，工于裝備！激光跟蹤儀應用系列-工程機械部件檢測
工程機械作為工程建設中的重要工具，施工過程中長期承受各種外力，因此對各結構件質量要求很高，檢測十分嚴格，通常要求的公差在0.1mm～0.2mm以內。工程機械部件外形尺寸及重量通常較大，常規儀器無法有效滿足檢測需求，GTS激光跟蹤儀作為大尺寸空間精密測量儀器，空間測量精度以微米計，且測量范圍可達160m，能為工程機械制造提供精準的測量保障。激光跟蹤儀采用球坐標系測量系統，測量時，操作者手持測量靶球，激光跟蹤儀射出一道激光主動跟蹤測量靶球，在操作者將靶球接觸待測工件表面時，激光跟蹤儀精確采集該點的三
2022
12-19

白光3D輪廓測量儀適配芯片制造生產線，助力半導體行業發展
近年來，面對持續高漲的芯片需求，半導體行業生產迎來了高難度挑戰——對芯片工藝要求更精細，從5nm到3nm，甚至是2nm。“先進封裝”的提出，是對技術的新要求，也是對封裝工藝中材料和設備的全新考驗。芯片身上布控著幾千萬根晶體管，而晶體管越小，可放置的晶體管越多，性能也將越高。芯片的進化就是晶體管變小的過程。晶體管密度更大、占用空間更少、性能更高、功率更低，但挑戰也越來越難以克服。小尺寸下，芯片物理瓶頸越來越難以克服。尤其在近幾年，先進節點走向10nm、7nm、5nm......白光3D輪廓測量儀適
2022
12-12

數控機床檢測技術之激光干涉儀角度測量
目前，在幾何量測量中最重要的激光技術是用廣電轉換條紋計數等方法來測量長度，這種方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接觸測量及自動測量等優點。基于激光干涉儀技術的精密角度測量系統，通過角度轉換裝置將角度量轉換為可以反映干涉光路中光程差變化的線性位移量，由此引起干涉條紋的變化，再通過相應電路對干涉條紋進行一系列處理，從而實現了對大轉角的精密測量。具有結構簡單、誤差恒定、測量精度高、測角范圍大、易于數字化等特點。激光干涉儀利用激光作為長度基準，可以對數控設備（加工中心、三坐標測量機等）的位置精度（定
2022
12-12

白光干涉儀是啥呢
一、干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。二、工作原理：(1)干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。(2)測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差
2022
11-25

三坐標測量機導軌和工作臺介紹
三坐標測量機可以代替多種表面測量工具及昂貴的組合量規，能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。它是在三維空間上通過采集點的三維坐標來評定物體幾何形狀，是集光、電、氣、機械與計算機技術為一體的自動化坐標測量儀器，也是制造業中的重要檢測設備。一、工作臺花崗巖具有變形小、穩定性好、耐磨損、不生銹，且價格低廉、易于加工的特點。Mars系列三坐標測量機采用花崗巖來制造固定式的工作臺，使機器具有承載能力強、裝卸空間寬闊、便捷的優點。二、導軌三坐標測量
2022
11-25

三坐標測量機測頭系統是什么
測頭系統是三坐標測量機的數據采集傳感器系統，是三坐標測量機的關鍵部件，測頭精度的高低決定了坐標測量機的測量重復性。三坐標測量機的功能、工作效率、精度與測頭密切相關。在對工件進行測量時，三坐標測量機能夠根據測頭系統探測工件，返回工件表面的點數據，通過三坐標的軟件系統計算各類幾何形狀、尺寸等。測頭的分類按結構原理，測頭可分為機械式、光學式和電氣式。按測量方法，測頭可分為接觸式和非接觸式。測頭系統的組成測頭系統包括分度測座、測頭及其附件，其附件包括測桿、加長桿和探針。1、測座Pantec測座是探測系統
2022
11-23

發動機葉片曲面檢測工具|白光干涉儀五軸全自動測量
葉片作為發動機的核心部件，制造工藝復雜，科技含量高，在研發過程中遇到的難題很多。可以說發動機的性能很大程度上取決于葉片型面的設計和制造水平。其中航空發動機葉片是典型的自由曲面零件，它的曲線形狀、制造精度和質量直接決定了發動機的推進效率大小和安全。一個發動機上有很多葉片，每一個圓盤上大概有30多個葉片，如果葉片的形狀和尺寸不能夠保證，那么在發動機高速運轉時是非常危險的。所以對于葉片的型面和幾何尺寸檢測也是非常重要的，但是就葉片的形狀來說常規測量方法很難進行測量。白光干涉儀作為一款超高精度的光學3D
2022
11-21

非球面鏡片測量|SJ5720高精度光學粗糙度輪廓儀
目前國內尚無專業測量設備能夠檢測高精度非球面鏡片參數，比如微觀輪廓參數、水平軸線夾角、光軸位置參數及頂點半徑誤差、斜率參數等，基本依賴進口，只有部分國產機型能夠滿足普通精度的微觀輪廓Pt參數測量，而從國外進口這類超高精度面型輪廓測量儀器價格高；光學儀器以超精密光學鏡片為基本原材料，目前檢測儀器的水平嚴重影響了我國光學儀器產業的提高和進步。SJ5720高精度光學輪廓粗糙度測量儀精度達到（儀器直線度≤0.25μm/200mm，大范圍形貌微觀輪廓Pt≤0.3μm，粗糙度測量精度達到納米級、測力最小0.
2022
11-14

移動橋架三坐標測量儀介紹
一、移動橋式三坐標測量儀是一種用于動力與電氣工程領域的科學儀器，于2002年9月1日啟用。二、原理：(1)移動橋架三坐標測量儀是三坐標的一種，是一種精度高、測量速度快的、性能穩定的測量系統。能夠完成各種復雜的檢測和測量任務要求，(2)可選配多測頭系統：光學CCD影像測頭、激光測頭，可滿足復雜的箱體的精密尺寸測量、復雜形面的掃描檢測及逆向工程應用。三、應用特點：1.X向橫梁：采用精密斜梁技術。2、直接加工在工作臺上的整體下燕尾槽定位結構。3.導軌方式：采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的四面環抱式

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