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04-01【半導體形貌及成分表征】ZEM18電鏡在半導體領域的應用案例
ZEM18作為澤攸科技自主研發的高分辨臺式掃描電子顯微鏡,在半導體領域有著廣泛的應用。典型案例如下:【晶圓缺陷檢測】利用ZEM18電鏡直接成像觀察晶圓表面,可以清晰展現出微小劃痕、顆粒污染等各類缺陷情況。根據圖像結果判斷缺陷源頭,以優化制程,提高生產良率?!竟饪坦に嚈z測】使用ZEM18電鏡可以在微米量級直接刻畫光刻膠層的側壁形貌及斷口形態。幫助評估光刻質量與曝光量效應,優化曝光量設置?!窘饘倩ミB觀測】ZEM18高倍成像可以清晰展現芯片互連結構中的空隙缺陷、線邊斷裂情況,有助于電參數測試結果的對應2024
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