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旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備,采用旋轉(zhuǎn)滾筒設(shè)計,專用于實現(xiàn)聚對二甲苯的均勻涂布。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,集成內(nèi)置泵與冷卻裝置,適用于處理尺寸較小的基材。


Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備廣泛應用于多個行業(yè),包括航天航空、半導體、新能源、*、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。


旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備

PPS 提供多樣化的定制化實驗室涂布設(shè)備,配備多種可選裝置與附加組件,旨在確保涂層工藝的成功實施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置
  - 可定制腔體尺寸
  - 支持選配等離子體源
  - 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)


旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備Series 2000

尺寸
L:2600mm  W:960mm  H:1460mm
重量
200kg
腔體容量
80L
工藝腔體400mm ? ,H: 600mm
氣路1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),最多可擴展至 3 路氣體通道。
冷卻系統(tǒng)
4L(機電式冷阱)
真空連接
DIN 40 ISO-KF
排氣
電磁式排氣閥
真空泵
抽速50m3/h
電氣連接三相五線制,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實驗型機型,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機型。同時,我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性。另外,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計,在小占地面積下提供高性能技術(shù),節(jié)約大量的超凈間占地空間。


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