ELS-F125-Elionix電子束光刻機(jī)
2025-07-26
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簡(jiǎn)介
ELS-F125是Elionix推出加速電壓高達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng)之一，其可加工線寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)
ELS-F125具有以下優(yōu)點(diǎn)：
l 超高書寫精度
- 5 nm 線寬精度 @ 125 kV
- 1.7 nm 電子束直徑&鄰近效應(yīng)最小化 @ 125 kV
l 高通量、均勻性好
- 超大視野書寫:500um視場(chǎng)下10 nm線寬
- 高束流下電子束直徑依然很小，高通量而不影響分辨率，2 nm 電子束直徑@ 1 nA
l 界面用戶友好
基于Windows系統(tǒng)的CAD和SEM界面:
-簡(jiǎn)單易用的圖案設(shè)計(jì)功能
-易于控制的電子束條件
二、主要功能
l 主要應(yīng)用
納米器件的微結(jié)構(gòu)
集成光學(xué)器件，如光柵，光子晶體等
NEMS結(jié)構(gòu)，復(fù)雜精細(xì)結(jié)構(gòu)
光刻掩模板，壓印模板
l 技術(shù)能力
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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
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