技術參數：
| 分辨率 | 所有電子束的平均分辨率 @ 1.0 kV、1.5 kV、3.0 kV | ≤ 3.5 nm |
| 分辨率的均勻性 | @ 1.0 kV、1.5 kv、3.0 kv 和 12 um 間距 | ≤ ±1 nm |
| 著陸能量 | 范圍 | 1.0- 3.0 kv |
| 電子束布局 | 電子束圖樣 | 六邊形 |
| 電子束數量 | 91 | |
| 間距(單束光成像寬度) | 12 μm 間距 /15 μm（可選） | |
| 間距均勻性 | ≤ ±1% | |
| 觀察視野(FOV) | 六邊形的長軸12 μm 或 15 μm(間距) | 132 um / 165 um |
| 電子束流 | 單個電子束 | ≥ 570 pA |
| 總電流 | ≥ 52 nA | |
| 均勻性 | ≤+10% | |
| 電子源 | 燈絲 | 肖特基發射源 |
| 燈絲電流穩定性 | ≤ 1% 每小時 | |
| 束閘 | 靜電束閘 | |
| 工作距離 | 1.4 mm | |
| 檢測器 | 帶有高效多重檢測裝置的二次電子投影光學系統 | |
| 掃描 | ||
| 掃描速率 | 最大為每束 20 MHZ，可提供不同的離散掃描速度 | |
| 掃描模式 | 逐行掃描 | |
| 像素尺寸 | 12 μm 間距的范圍 | 2 nm-20 nm |
| 15 um 間距的范圍 | 2.5 nm- 20 nm | |
| 掃描布局 | 圖像拼接包含由 91 個以六邊形模式排列的子圖像 | |
| 可調整相鄰掃描區域的重疊度 | ||
| 載物臺和樣品 | ||
| 載物臺 | 類型 | 步進載物臺 |
| 可用行程范圍 xy/z | 100/100/30 mm | |
| 可重復性 XY | ≤ ±3 μm | |
| 放置時間 | S 1.5 s | |
| 樣品要求 | 在 xY 中的最大尺寸 | 100 x 100 mm2 |
| 最大高度 | ≤ 30 mm | |
| 最大平整度 | ≤ 500 nm/100 μm(峰值到峰值) | |
| 最大重量 | ≤ 0.2 kg | |
| 樣品更換時間 | 帶有樣品交換室 | ≤ 5 min |
| 軟件 | ||
| 用戶界面 | 用于 MultiSEM 的 ZEN | |
| 應用編程接口(API) | 用于自定義的工作流開發 | |
| Shuttle g Find 功能 | 從不同的成像方式(如光學顯微鏡或單光束掃描電子顯微鏡)可靠地轉移樣品坐標 | |
| 性能監控 | 檢查所有相關的系統參數，如真空壓力或光學器件對準質量 | |
| 平行軟件結構 | 分布式圖像采集 | |
| 數據庫支持 | 用于工作流和數據管理 | |
| 自動校準功能 | 自動聚焦、自動消像散和探測器均衡化等 | |
| 圖像采集工作流 | ||
| 圖形化的實驗設置 | 基于感興趣區域選擇的圖像 | |
| 自動切片檢測(可選) | 適用于連續切片成像的快速工作流設置 | |
| 互動要求 | 最多1小時 /24 小時專用于光束對準和校準的用戶互動 | |
| 計算機硬件 | ||
| 主要控制器 | ≥4核 CPU(64 位)，≥32 GB DDR,≥1TB HD，最少2個1 Gbit 以太網接囗 | |
| 主要控制器的操作系統 | Windows”10(64位) | |
| 顯示屏 | 2 臺顯示器，1920x1080 像素，24" | |
| 圖像采集 | 12 臺計算機，在 19"機架上 | |
| 圖像采集計算機 | ≥4核 CPU(64位)，氵32 GB DDR3，1 Gbit 以太網，10 Gbit 以太網與客戶網絡連接 | |
| 到客戶網絡的數據傳輸速度 | > 10 Gbit 以太網 | |
| 真空系統 | ||
| 樣品室真空泵 | 渦輪分子泵(> 260 L/s);無油渦旋泵 | |
| 樣品室操作真空度 | ≤ 1x10-5mbar | |
| 監控 | 自動監控所有相關的真空度 | |
性能特點：
成像速度極快
自動大區域圖像采集
宏觀信息下的納米級細節
低噪點高襯度圖像
電子顯微鏡速度
多條電子束并行，為您帶來出色的總體成像速度，在4 nm像素大小下采集1 mm2的區域僅需幾分鐘。憑借每小時超過1 TB的出色采集速度，可在納米級分辨率下對大體積物體（> 1 mm3）進行成像。 優化的探測器會高效收集二次電子信號，為您在低噪點水平下提供高襯度圖像。
以納米級分辨率對大型樣品進行成像
不必再為實現納米級分辨率而犧牲樣品尺寸。MultiSEM配備了一個覆蓋10 cm × 10 cm區域的樣品載具，并可全天候連續運行。現在，您可對整個樣品進行成像，獲取包含宏觀信息的精細圖像，探索您所需要的一切，探尋科學問題的答案。
配備ZEN成像軟件的電子顯微鏡
通過將ZEN引入MultiSEM，我們將蔡司光學顯微鏡的標準化軟件帶入了電子顯微鏡的世界。以一種簡單直觀的方式操控MultiSEM：智能自動調節程序助您捕獲具有高分辨率和高質量的出色圖像。您可以快速設置復雜的自動圖像采集流程，將其用于您的樣品成像。
多條電子束和探測器并行
MultiSEM運用了多條電子束（綠色：照明通路）和探測器并行。微調探測通路（紅色）能夠收集大量的二次電子（SE）用于成像。電子束呈六邊形排列，每條電子束在一個樣品位置執行同步掃描程序，以此獲得單個子圖像，再通過合并所有圖像拼接生成整幅圖像。并行的計算機設置程序用于快速記錄數據，以保證達到高的整體成像速度。在MultiSEM系統中，圖像采集和工作流程控制獨立。
應用范圍：
生物研究、生物樣品
免責聲明：以上所展示的信息由企業自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布企業負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
東南科儀
相關供應
采購中心