CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS-多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀
2025-08-11
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本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可*大支持300A的大電流，加熱溫度最高可達(dá)1800℃，可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì)，腔體和電控部分左右分置，實(shí)現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶的需求。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì)，真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨(dú)立操作，在盡可能方便用戶的同時(shí)規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能，是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的之選。
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀 | ||
型號(hào) | CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS | |
樣品臺(tái) | 尺寸 | *大支持φ150mm樣品 |
高度 | 上下70mm可調(diào) | |
蒸發(fā)源 | 數(shù)量 | 鎢舟x2 |
真空腔體
| 腔體尺寸 | φ325x600mm |
觀察窗口 | 前置φ100mm | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚測(cè)量?jī)x，可選多通道膜厚控制儀 | |
真空系統(tǒng)
| 前級(jí)泵 | 雙極旋片泵 |
抽氣接口 | KF16 | |
次級(jí)泵 | 渦輪分子泵 | |
抽氣接口 | CF160 | |
真空測(cè)量 | 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī) | |
排氣速率 | 機(jī)械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵：1.1L/S | |
控制系統(tǒng) | PLC自動(dòng)控制 操作界面：觸控屏+操作面板 | |
其他
| 供電電壓 | AC380V,50Hz |
整機(jī)尺寸 | 1000mm X900mm X 1500mm | |
整機(jī)重量 | 350kg | |
整機(jī)功率 | 5kW | |
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