本設備為多源真空蒸發鍍膜儀，設備采用前開門式真空腔體設計，腔體空間大，可拓展性強，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺，可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱及升降，所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境；真空系統內含有完善的氣動閥系統，用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、停機等操作。
本設備的蒸發源共兩組，采取鎢舟蒸發源，水冷式銅電極，可*大支持300A的大電流，加熱溫度最高可達1800℃，可實現多種難熔金屬的蒸鍍。本設備采用一體化設計，腔體和電控部分左右分置，實現了水電分離，有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計，真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作，通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作，在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能，是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的之選
多源真空蒸發鍍膜儀技術參數:
多源高真空蒸發鍍膜儀 | ||
樣品臺 | 尺寸 | φ150mm樣品 |
高度 | 上下150mm可調 | |
蒸發源 | 數量 | 鎢舟x2 |
真空腔體
| 腔體尺寸 | φ500x700mm |
觀察窗口 | 前置φ100mm含遮光片 | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 前開門式 | |
膜厚控制 | 晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀 | |
真空系統
| 前級泵 | 雙極旋片泵 |
抽氣接口 | KF16 | |
次級泵 | 渦輪分子泵 | |
抽氣接口 | ISO160 | |
真空測量 | 電阻+電離 復合真空規 | |
排氣速率 | 機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s | |
極限真空 | 1.0E-5Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵：1.1L/S | |
流量計 | 可選一路質量流量計 500sccm Ar氣 | |
控制系統 | PLC自動控制 操作界面：觸控屏+操作面板 | |
其他
| 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機尺寸 | 1200mm X 900mm X 1500mm | |
整機重量 | 500kg | |
整機功率 | 5kW | |
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