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青島明華電子儀器有限公司

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Chem 20™ 化學式粒子計數器

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工業測量

產地類別 國產 價格區間 面議
流量范圍 大流量 儀器種類 實驗室

 

化學式粒子計數器

端的微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學品,該粒子計數器需要經過高度過濾,適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學式粒子計數器具有20 nm的粒子靈敏度,是目前靈敏度高的高純度工藝化學品粒子傳感器。

來自化學品輸送和包裝系統的廣泛數據證明,與其競爭產品相比,具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統計出的顆粒濃度較大,數據具有統計意義。

 

化學式粒子計數器

 

性質

  • *的激光光學和檢測器使檢測化學物質的靈敏度達到20 nm
  • 車載化學流量計用于設定樣品流量
  • *個能針對低和高折射率化學品進行優化的顆粒計數器,以提高產品性能:
    Chem 20傳感器,用于具有較低折射率的化學品
    Chem 20-HI傳感器,適用于硫酸和其他高指數化學品
  • 內部泄漏檢測會在內部化學品泄漏時提供報警
  • 低流量檢測器和報警器,以確保數據*
  • 宏觀氣泡探測器用于保護傳感器性能
  • 本地數據顯示

優點

  • 實時檢測20 nm PSL和9 nm Au微粒
  • 檢測影響良率的粒子(競爭技術無法達到)
  • 在掃描表面或得到數據之前,快速響應粒子偏移
  • 優化化學品輸送系統,覆蓋從裝卸碼頭到加工點的整個過程
  • 改善樣本的數據統計,加強過程工藝控制
  • 針對不同潔凈度的產品,使用兩種視圖模式優化儀器操作,拓展產品應用空間
  • 傳統數據采集系統能夠靈活通信

應用

  • 化學輸送系統內的實時粒子監測
  • 流程監控點
  • 化學包裝操作監控
  • 化學過濾器性能和效率描述
  • 學處理部件的性能測試


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