CY-SPC4-SS-JH 凈化旋涂儀帶加熱臺
- 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-SPC4-SS-JH
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/30 16:07:41
- 訪問次數(shù) 10
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凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時,可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備 。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作
凈化型勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 凈化旋涂儀帶加熱臺 產(chǎn)品型號 CY-SPC4-SS-JH 勻膠機(jī) 電源電壓 AC220V, 50Hz 旋轉(zhuǎn)速度 0~9999rpm, adjustable 加速度 100~5000rpm/s 速度分辨率 1rpm 時間分辨率 1s 單步時間 3000s 基片尺寸 直徑≤4英寸(100mm) 腔體材質(zhì) 亞克力 操作方式 按鍵+液晶屏 點膠方式 手動點膠,可選精密注射泵 勻膠曲線 每條曲線5段,共可存儲5條曲線 抽氣口 φ6mm快擰接口 真空吸盤 直徑10mm, 25mm, 55mm 整體尺寸 210mm×250mm×180mm 加熱板 加熱板尺寸 150*150mm 加熱溫度 RT~300C 溫度分辨率 0.1C 控溫精度 ±1C 溫度均勻性 <±2C 電源 AC220V, 50Hz 凈化柜 尺寸 800*680*1700mm 內(nèi)部布局 內(nèi)部左側(cè)放4英寸亞克力腔體勻膠機(jī),右側(cè)放加熱板 凈化等級 美國標(biāo)準(zhǔn)99% 照明 內(nèi)置LED照明燈 排氣系統(tǒng) 真空泵 干式機(jī)械泵 抽氣速率 50L/min 電源 AC220V, 60Hz